Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Wafer-Boote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Semicorex SiC-beschichtete Gasumleitungsscheiben sind die unverzichtbaren Graphitkomponenten, die in der Halbleiter-Epitaxieausrüstung eingesetzt werden. Sie wurden speziell zur Regulierung des Reaktionsgasflusses und zur Förderung einer gleichmäßigen Gasverteilung innerhalb der Reaktionskammer entwickelt. Wählen Sie Semicorex, wählen Sie die optimalen Gasumleitungslösungen für hochwertige Wafer-Epitaxie-Ergebnisse.
WeiterlesenAnfrage absendenDer SiC-Wafer-Träger von Semicorex besteht aus hochreiner Siliziumkarbid-Keramik mittels 3D-Drucktechnologie, was bedeutet, dass innerhalb kurzer Zeit hochpräzise Bearbeitungskomponenten hergestellt werden können. Semicorex ist bestrebt, seinen weltweiten Kunden qualifizierte, qualitativ hochwertige Produkte anzubieten.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex CVD SiC-beschichtete obere Erdungsringe sind die wesentlichen ringförmigen Komponenten, die speziell für die anspruchsvolle Plasmaätzanlage entwickelt wurden. Als branchenführender Lieferant von Halbleiterkomponenten konzentriert sich Semicorex auf die Lieferung hochwertiger, langlebiger und ultrareiner CVD-SiC-beschichteter oberer Erdungsringe, um unseren geschätzten Kunden dabei zu helfen, die Betriebseffizienz und die Gesamtproduktqualität zu verbessern.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC-Dichtungen sind leistungsstarke mechanische Flächenkomponenten, die entwickelt wurden, um in den anspruchsvollsten Umgebungen rotierender Anlagen eine hervorragende Verschleißfestigkeit, thermische Stabilität und universelle chemische Inertheit zu bieten. Semicorex ist ein professioneller Anbieter von SiC-Keramikmaterialien, der hochpräzise Produkte für globale Kunden liefern kann.*
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex SiC-Sockel ist eine hochpräzise, multifunktionale Hardwarekomponente, die die thermische Stabilität und die komplexe Flüssigkeitsverteilung bietet, die für fortschrittliche Mikrokanal-Reaktionssysteme erforderlich sind. Semicorex ist auf die Entwicklung und Lieferung dieser hochreinen SiC-Sockel entsprechend den Kundenbedürfnissen spezialisiert.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Aluminiumoxid-Wafer-Polierplatten sind leistungsstarke Polierkomponenten aus Aluminiumoxid-Keramik, die speziell für Wafer-Polierprozesse in der High-End-Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, entscheiden Sie sich für Produkte mit kostengünstigen Preisen, außergewöhnlicher Haltbarkeit und hocheffizienter Verarbeitungsleistung.
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