Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Wafer-Boote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Das poröse Keramikfutter (Vakuumfutter) von Semicorex ist ein hochpräzises Werkzeug, das zum sicheren Halten von Wafern während Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, profitieren Sie von einer Lösung, die außergewöhnliche Leistung, Haltbarkeit und Anpassungsoptionen bietet und so eine verbesserte Produktionseffizienz und gleichbleibende Qualitätsstandards gewährleistet.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter sind präzisionsgefertigte Komponenten, die Wafer oder Substrate während kritischer Halbleiter- und Präzisionsfertigungsprozesse sicher halten. Dank des Engagements von Semicorex für hochwertige Materialien und modernste Fertigungstechniken bieten unsere Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter unübertroffene Zuverlässigkeit, Präzision und Leistung für Ihre anspruchsvollsten Anwendungen.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex Vacuum Chuck ist eine Hochleistungskomponente, die für die sichere und präzise Handhabung von Wafern in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex für unsere fortschrittlichen, langlebigen und kontaminationsresistenten Lösungen, die selbst in den anspruchsvollsten Prozessen optimale Leistung gewährleisten.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Siliziumkarbidhülsen werden üblicherweise als verschleißfeste und korrosionsbeständige Auskleidung für Geräte wie Zylinder, Pumpen, Ventile, Gleitlager und Schleiftrommeln verwendet.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex-Aluminiumoxid-Isolierring wird als Isolator in verschiedenen elektrischen Komponenten eingesetzt. Seine hervorragenden elektrischen Isoliereigenschaften gewährleisten eine zuverlässige Leistung in Anwendungen, bei denen die Verhinderung elektrischer Leitung von entscheidender Bedeutung ist.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex Siliziumkarbid-Liner ist ein vielseitiges und robustes Material, das einen unschätzbaren Beitrag zur Optimierung der Effizienz und Langlebigkeit industrieller Verarbeitungsanlagen leistet.
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