Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Wafererhitzer anbieten. Heizgeräte für Abscheidungsgeräte erfordern eine gleichmäßige Wärmeverteilung über den Wafer sowie eine hohe Reinheit und Plasmabeständigkeit. Semicorex liefert CVD-Heizanwendungen mit Siliziumkarbidbeschichtung, einschließlich Heizgeräten und Tiegeln. Unsere fortschrittlichen Heizkomponenten eignen sich für ALD-CVD-PVD-Prozesse in der Vakuumabscheidungsumgebung.
Die CVD-SiC-Beschichtung des Semicorex SiC Coating Heater bietet eine hervorragende Leistung beim Schutz von Heizelementen vor den rauen, korrosiven und reaktiven Umgebungen, die häufig bei Prozessen wie der metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und dem epitaktischen Wachstum auftreten.**
WeiterlesenAnfrage absendenDer MOCVD-Heizer von Semicorex ist eine hochentwickelte und sorgfältig konstruierte Komponente, die eine Vielzahl von Vorteilen bietet, darunter außergewöhnliche chemische Reinheit, thermische Effizienz, elektrische Leitfähigkeit, hohes Emissionsvermögen, Korrosionsbeständigkeit, Inoxidierbarkeit und mechanische Festigkeit.**
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