Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Wafererhitzer anbieten. Heizgeräte für Abscheidungsgeräte erfordern eine gleichmäßige Wärmeverteilung über den Wafer sowie eine hohe Reinheit und Plasmabeständigkeit. Semicorex liefert CVD-Heizanwendungen mit Siliziumkarbidbeschichtung, einschließlich Heizgeräten und Tiegeln. Unsere fortschrittlichen Heizkomponenten eignen sich für ALD-CVD-PVD-Prozesse in der Vakuumabscheidungsumgebung.