Die Semicorex-Graphit-Mittelplatte oder MOCVD-Suszeptor besteht aus hochreinem Siliziumkarbid, das durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) beschichtet wird und dabei zum Wachsen der Epitaxieschicht auf dem Wafer-Chip verwendet wird. Der mit SiC beschichtete Suszeptor ist ein wesentlicher Bestandteil des MOCVD und erfordert daher eine hervorragende Hitze- und Chemikalienbeständigkeit sowie eine hohe thermische Gleichmäßigkeit. Wir haben speziell für diese anspruchsvollen Epitaxie-Geräteanwendungen entwickelt.
SiC-beschichtete Graphit-MOCVD-Suszeptoren sind die wesentlichen Komponenten, die in Geräten zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) verwendet werden und für das Halten und Erhitzen von Wafersubstraten verantwortlich sind. Aufgrund ihres überlegenen Wärmemanagements, ihrer chemischen Beständigkeit und Dimensionsstabilität gelten SiC-beschichtete Graphit-MOCVD-Suszeptoren als optimale Option für die Epitaxie hochwertiger Wafersubstrate. Bei der Waferherstellung wird die MOCVD-Technologie verwendet, um epitaktische Schichten auf der Oberfläche von Wafersubstraten aufzubauen und so die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente vorzubereiten. Da das Wachstum epitaktischer Schichten von mehreren Faktoren beeinflusst wird, können die Wafersubstrate nicht direkt z......
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex 6 "Waferinhaber sind leistungsstarke Träger für die strengen Anforderungen des SIC-epitaxialen Wachstums. Wählen Sie Semicorex für unübertroffene Materialreinheit, Präzisionstechnik und nachgewiesene Zuverlässigkeit bei Hochtemperaturen mit hohem Yield-SIC-Prozessen.*
WeiterlesenAnfrage absendenDer MOCVD-Waferhalter von Semicorex ist eine unverzichtbare Komponente für das SiC-Epitaxiewachstum und bietet ein hervorragendes Wärmemanagement, chemische Beständigkeit und Dimensionsstabilität. Durch die Wahl des Waferhalters von Semicorex steigern Sie die Leistung Ihrer MOCVD-Prozesse, was zu qualitativ hochwertigeren Produkten und größerer Effizienz in Ihren Halbleiterfertigungsabläufen führt. *
WeiterlesenAnfrage absendenDer von Semicorex entwickelte Semicorex MOCVD 3x2'' Susceptor stellt einen Gipfel an Innovation und technischer Exzellenz dar, der speziell auf die komplexen Anforderungen moderner Halbleiterfertigungsprozesse zugeschnitten ist.**
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex SiC-Beschichtungsring ist eine entscheidende Komponente in der anspruchsvollen Umgebung von Halbleiterepitaxieprozessen. Mit unserem unerschütterlichen Engagement, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten, sind wir bereit, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.*
WeiterlesenAnfrage absendenDas Engagement von Semicorex für Qualität und Innovation zeigt sich im Segment der SiC-MOCVD-Abdeckungen. Indem es eine zuverlässige, effiziente und qualitativ hochwertige SiC-Epitaxie ermöglicht, spielt es eine entscheidende Rolle bei der Weiterentwicklung der Fähigkeiten von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation.**
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