Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt. Der Endeffektor muss maßgenau und thermisch stabil sein und gleichzeitig über eine glatte, abriebfeste Oberfläche verfügen, um Wafer sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelverunreinigungen zu erzeugen.
Die Beschichtungskomponenten aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC) von Semicorex bieten eine hervorragende Hitzebeständigkeit, eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit.
Semicorex Alumina Ceramic Arm ist eine hochreines Roboterkomponente für eine präzise und kontaminationsfreie Waferhandhabung bei der Herstellung von Halbleiter. Die Auswahl von Semicorex stellt nicht nur eine fortgeschrittene Qualität der Alumina -Keramikmaterial, sondern auch die Präzisionshandwerkskunst sicher, die Haltbarkeit, Sauberkeit und Zuverlässigkeit in kritischen Prozessumgebungen garantiert.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SIC Arm ist eine hohe Püre-Silizium-Carbid-Komponente, die für eine präzise Waferhandhabung und -positionierung in der Herstellung von Halbleiter ausgelegt ist. Die Wahl von Semicorex sorgt für unübertroffene Materialzuverlässigkeit, chemische Resistenz und Präzisionstechnik, die die anspruchsvollsten Halbleiterprozesse unterstützen.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Sic-Finger sind präzisionsmotorierte Komponenten aus hochreinigem Siliziumcarbid, das für die extremen Anforderungen der Semiconductor-Herstellung entwickelt wurde. Auswahl von Semicorex bedeutet Zugang zu fortgeschrittenem materiellem Know-how, hochpräziser Verarbeitung und zuverlässigen Lösungen, die in Anträgen kritischer Waferhandhabungen vertrauen.**
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