Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt. Der Endeffektor muss maßgenau und thermisch stabil sein und gleichzeitig über eine glatte, abriebfeste Oberfläche verfügen, um Wafer sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelverunreinigungen zu erzeugen.
Die Beschichtungskomponenten aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC) von Semicorex bieten eine hervorragende Hitzebeständigkeit, eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit.