Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikstrukturteile, die aus durch Sintern miteinander verbundenen Siliziumkarbidkörnern hergestellt werden, finden weitreichende Verwendung in den Bereichen Automobil, Mechanik, Chemie, Halbleiter, Raumfahrttechnik, Mikroelektronik und Energie und erfüllen in verschiedenen Anwendungen in diesen Branchen eine entscheidende Rolle. Aufgrund ihrer bemerkenswerten Eigenschaften sind Siliziumkarbid-Keramik-Strukturteile zu einem idealen Material für raue Bedingungen geworden, die durch hohe Temperaturen, hohe Drücke, Korrosion und Abrieb gekennzeichnet sind, und bieten zuverlässige Leistung und Langlebigkeit in anspruchsvollen Betriebsumgebungen.**
WeiterlesenAnfrage absendenAluminiumoxid-Keramikflansche sind technische Komponenten, die erhebliche Vorteile bieten, insbesondere in Umgebungen, in denen thermische Stabilität, Gewichtsaspekte und Korrosionsbeständigkeit von größter Bedeutung sind. Diese Flansche sind nicht nur langlebig und zuverlässig, sondern tragen auch zur Gesamteffizienz und Kosteneffizienz der Systeme bei, in denen sie eingesetzt werden. Ihre einzigartigen Eigenschaften machen sie zu einer ausgezeichneten Wahl für fortschrittliche technische Lösungen in verschiedenen Industriebereichen. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker Aluminiumoxidkeramikflansche, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex Alumina Vacuum Chuck ist eine Präzisionshaltevorrichtung, die für fortschrittliche Fertigungs- und Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Siliziumkarbid-Spannfutter von Semicorex ist eine hochspezialisierte Komponente für die Halbleiterfertigung. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC Chuck oder Siliziumkarbid-Chuck ist eine Spezialkomponente, die hauptsächlich in der Halbleiterfertigung und Präzisionsbearbeitungsanwendungen verwendet wird. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Skelett der Semicorex-Lithographiemaschine ist eine wesentliche Strukturkomponente, die zur Unterstützung und Stabilisierung der komplexen Maschinen bei Fotolithographieprozessen entwickelt wurde. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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