China Keramik Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.

Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.

Vorteile für Halbleiterprozesse

Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.

Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.

Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.

Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.

Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.

Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.

Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.

Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.

Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.

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Roboterarm aus Aluminiumoxidkeramik

Der Semicorex Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm, auch bekannt als Wafer-Handling-Keramik-Roboterarm oder Keramik-Silizium-Wafer-Handhabungsgabel, ist eine Hochleistungs-Halbleiterausrüstungskomponente. Sein Design berücksichtigt die hohen Anforderungen der Halbleiterfertigung. Mit seiner hohen Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, chemischen Stabilität und hervorragenden elektrischen Isolationseigenschaften spielt der Aluminiumoxid-Keramikarm eine unersetzliche Rolle in der globalen Halbleiterfertigungsindustrie. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker Roboterarme aus Aluminiumoxidkeramik, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**

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SiC-Diffusionsofenrohr

Die fortschrittlichen Materialeigenschaften des Semicorex SiC-Diffusionsofenrohrs, einschließlich hoher Biegefestigkeit, hervorragender Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit, hoher Verschleißfestigkeit, niedrigem Reibungskoeffizienten, überlegener mechanischer Hochtemperatureigenschaften und ultrahoher Reinheit, machen es in der Halbleiterindustrie unverzichtbar , insbesondere für Diffusionsofenanwendungen. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-Diffusionsofenrohre, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**

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SiC-Diffusionsboot

Mit hochwertigen Materialeigenschaften bietet Semicorex SiC Diffusion Boat optimale Funktionalität über ein breites Spektrum an Betriebsparametern: Härte, Belastbarkeit sowie thermische und chemische Beständigkeit usw. Diese Materialwahl ist entscheidend für die Reduzierung von Kontaminationsrisiken, den Schutz von Wafern und die Haltbarkeit Anspruchsvolle Bedingungen in Halbleiterfertigungsprozessen. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-Diffusionsboote, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**

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ICP-Ätzplatte

Die Semicorex ICP-Ätzplatte ist eine fortschrittliche Hochleistungskomponente, die speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde und aus Siliziumkarbid (SiC)-Material gefertigt ist. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.

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SiC-Reflektor

Der Semicorex-SiC-Reflektor ist ein zentrales Element in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.

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SiC-Keramik-Wärmeübertragungsplatten

Semicorex SiC-Keramik-Wärmeübertragungsplatten, die auf SiC als Primärmaterial basieren, werden einem Hochtemperatursintern bei 2250 °C unterzogen, was zu einem hochgradig verglasten, dichten Keramikkörper ohne Porosität mit einem SiC-Gehalt von ≥99,3 % führt. Mit einer Biegefestigkeit von ≥410 MPa und einer Wärmeleitfähigkeit von 140 W/m.k sind diese Keramiken die einzigen Materialien, die der Korrosion durch starke Säuren wie Flusssäure (HF) und Schwefelsäure (H2SO4) in der Halbleiterindustrie standhalten können. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-Keramik-Wärmeübertragungsplatten, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden. **

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Semicorex produziert seit vielen Jahren Keramik und ist einer der professionellen Keramik Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.