Wafer-Boote sind spezielle Behälter, die zum Halten und Erhitzen von Siliziumkarbid-Wafern (SiC) während des Halbleiterprozesses, beispielsweise der Wafer-Handhabung, verwendet werden.
Semicorex-Waferboote bestehen aus SiC-Keramik, die über hervorragende mechanische, thermische und chemische Eigenschaften verfügt, wie z. B. hohe Festigkeit, geringe Wärmeausdehnung und Beständigkeit gegenüber korrosiven Umgebungen.