Kammerdeckel werden verwendet, um eine saubere, inerte und geschützte Umgebung in Abscheidungskammern zu schaffen, sodass diese während Abscheidungs- oder Ätzprozessen Plasma und hohen Temperaturen ausgesetzt sind. Semicorex-Kammerdeckel sind langlebige Keramikkomponenten, die mithilfe der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) mit Siliziumkarbid beschichtet sind und sich hervorragend für den Einsatz in diesen anspruchsvollen Umgebungen eignen.
Semicorex SIC-Deckel ist eine hochpurige Silizium-Carbid-Komponente, die für extreme Semiconductor-Verarbeitungsumgebungen entwickelt wurde. Auswahl von Semicorex bedeutet, dass die materielle Qualität, die Präzisionstechnik und die kundenspezifischen Lösungen durch die weltweit führenden Halbleiterhersteller vertrauen.*
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