Kammerdeckel werden verwendet, um eine saubere, inerte und geschützte Umgebung in Abscheidungskammern zu schaffen, sodass diese während Abscheidungs- oder Ätzprozessen Plasma und hohen Temperaturen ausgesetzt sind. Semicorex-Kammerdeckel sind langlebige Keramikkomponenten, die mithilfe der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) mit Siliziumkarbid beschichtet sind und sich hervorragend für den Einsatz in diesen anspruchsvollen Umgebungen eignen.