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China Siliziumkarbid beschichtet Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Die SiC-Beschichtung ist eine dünne Schicht auf dem Suszeptor durch das chemische Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD). Siliziumkarbid-Material bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber Silizium, einschließlich der 10-fachen elektrischen Durchschlagsfeldstärke, der 3-fachen Bandlücke, was dem Material eine hohe Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit, eine hervorragende Verschleißfestigkeit sowie eine Wärmeleitfähigkeit verleiht.

Semicorex bietet maßgeschneiderten Service, hilft Ihnen bei Innovationen mit Komponenten, die länger halten, Zykluszeiten verkürzen und Erträge verbessern.


Die SiC-Beschichtung besitzt mehrere einzigartige Vorteile

Hohe Temperaturbeständigkeit: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor kann hohen Temperaturen von bis zu 1600 °C standhalten, ohne einer signifikanten thermischen Verschlechterung zu unterliegen.

Chemikalienbeständigkeit: Die Siliziumkarbidbeschichtung bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen eine Vielzahl von Chemikalien, einschließlich Säuren, Laugen und organischen Lösungsmitteln.

Verschleißfestigkeit: Die SiC-Beschichtung verleiht dem Material eine hervorragende Verschleißfestigkeit, wodurch es für Anwendungen mit hohem Verschleiß geeignet ist.

Wärmeleitfähigkeit: Die CVD-SiC-Beschichtung verleiht dem Material eine hohe Wärmeleitfähigkeit, wodurch es für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen geeignet ist, die eine effiziente Wärmeübertragung erfordern.

Hohe Festigkeit und Steifigkeit: Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor verleiht dem Material eine hohe Festigkeit und Steifigkeit, wodurch es für Anwendungen geeignet ist, die eine hohe mechanische Festigkeit erfordern.


SiC-Beschichtung wird in verschiedenen Anwendungen eingesetzt

LED-Herstellung: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor wird aufgrund seiner hohen Wärmeleitfähigkeit und chemischen Beständigkeit bei der Herstellung von verschiedenen LED-Typen verwendet, einschließlich blauer und grüner LED, UV-LED und Tief-UV-LED.



Mobilkommunikation: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor ist ein entscheidender Teil des HEMT, um den GaN-auf-SiC-Epitaxieprozess abzuschließen.



Halbleiterverarbeitung: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor wird in der Halbleiterindustrie für verschiedene Anwendungen verwendet, einschließlich Waferverarbeitung und Epitaxiewachstum.





SiC-beschichtete Graphitbauteile

Die Beschichtung aus Graphit mit Siliziumkarbidbeschichtung (SiC) wird durch ein CVD-Verfahren auf bestimmte Sorten von Graphit mit hoher Dichte aufgebracht, sodass sie im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre und 2200 °C im Vakuum betrieben werden kann .

Die besonderen Eigenschaften und die geringe Masse des Materials ermöglichen schnelle Aufheizraten, gleichmäßige Temperaturverteilung und hervorragende Regelgenauigkeit.


Materialdaten der Semicorex SiC-Beschichtung

Typische Eigenschaften

Einheiten

Werte

Struktur


FCC β-Phase

Orientierung

Bruchteil (%)

111 bevorzugt

Schüttdichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Wärmeausdehnung 100–600 °C (212–1112 °F)

10-6K-1

4.5

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Körnung

μm

2~10

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Schlussfolgerung Ein CVD-SiC-beschichteter Suszeptor ist ein Verbundmaterial, das die Eigenschaften eines Suszeptors und von Siliziumkarbid kombiniert. Dieses Material besitzt einzigartige Eigenschaften, einschließlich hoher Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit, ausgezeichneter Verschleißfestigkeit, hoher Wärmeleitfähigkeit sowie hoher Festigkeit und Steifigkeit. Diese Eigenschaften machen es zu einem attraktiven Material für verschiedene Hochtemperaturanwendungen, einschließlich Halbleiterverarbeitung, chemische Verarbeitung, Wärmebehandlung, Solarzellenherstellung und LED-Herstellung.






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MOCVD-SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor

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Der Semicorex MOCVD SiC-beschichtete Graphitsuszeptor ist eine fortschrittliche und spezielle Komponente, die im metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidungsprozess verwendet wird, einer entscheidenden Technik bei der Herstellung von Halbleitern, optoelektronischen Geräten und anderen fortschrittlichen Materialien. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Halbleiterempfänger

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Semicorex Susceptor Semiconductor, ein revolutionärer Graphit-Suszeptor, der sorgfältig gefertigt wurde, um Ihre Halbleiterfertigung auf ein neues Niveau zu heben. Dieser Suszeptor wurde mit Präzision und Innovation entwickelt und verfügt über eine CVD-SiC-Beschichtung, die ihn in der Branche auszeichnet. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Empfängerplatte

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Die Suszeptorplatte von Semicorex ist eine entscheidende Komponente im epitaktischen Wachstumsprozess und wurde speziell für den Transport von Halbleiterwafern während der Abscheidung dünner Filme oder Schichten entwickelt. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Suszeptor mit Gitter

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Semicorex Susceptor with Grid ist eine spezielle Komponente, die im epitaktischen Wachstumsprozess von Halbleiterwafern verwendet wird. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Ring paar

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Schöpfen Sie das volle Potenzial Ihrer Halbleiter-Epitaxieprozesse mit dem Semicorex Ring Set aus – einer entscheidenden Komponente aus SiC-beschichtetem Graphit. Dieses kleine, aber leistungsstarke Zubehör wurde entwickelt, um die Effizienz und Zuverlässigkeit Ihres Epitaxiewachstums zu steigern. Es spielt eine Schlüsselrolle bei der Gewährleistung optimaler Leistung in Halbleiterfertigungsumgebungen.

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Epi-Vorheizring

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Verbessern Sie die Effizienz und Präzision Ihrer Halbleiter-Epitaxieprozesse mit dem hochmodernen Epi Pre Heat Ring von Semicorex. Dieser mit Präzision aus SiC-beschichtetem Graphit gefertigte fortschrittliche Ring spielt eine entscheidende Rolle bei der Optimierung Ihres epitaktischen Wachstums, indem er Prozessgase vorheizt, bevor sie in die Kammer gelangen.

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Semicorex produziert seit vielen Jahren Siliziumkarbid beschichtet und ist einer der professionellen Siliziumkarbid beschichtet Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.