Heim > Produkte > Siliziumkarbid beschichtet

China Siliziumkarbid beschichtet Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Die SiC-Beschichtung ist eine dünne Schicht auf dem Suszeptor durch das chemische Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD). Siliziumkarbid-Material bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber Silizium, einschließlich der 10-fachen elektrischen Durchschlagsfeldstärke, der 3-fachen Bandlücke, was dem Material eine hohe Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit, eine hervorragende Verschleißfestigkeit sowie eine Wärmeleitfähigkeit verleiht.

Semicorex bietet maßgeschneiderten Service, hilft Ihnen bei Innovationen mit Komponenten, die länger halten, Zykluszeiten verkürzen und Erträge verbessern.


Die SiC-Beschichtung besitzt mehrere einzigartige Vorteile

Hohe Temperaturbeständigkeit: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor kann hohen Temperaturen von bis zu 1600 °C standhalten, ohne einer signifikanten thermischen Verschlechterung zu unterliegen.

Chemikalienbeständigkeit: Die Siliziumkarbidbeschichtung bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen eine Vielzahl von Chemikalien, einschließlich Säuren, Laugen und organischen Lösungsmitteln.

Verschleißfestigkeit: Die SiC-Beschichtung verleiht dem Material eine hervorragende Verschleißfestigkeit, wodurch es für Anwendungen mit hohem Verschleiß geeignet ist.

Wärmeleitfähigkeit: Die CVD-SiC-Beschichtung verleiht dem Material eine hohe Wärmeleitfähigkeit, wodurch es für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen geeignet ist, die eine effiziente Wärmeübertragung erfordern.

Hohe Festigkeit und Steifigkeit: Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor verleiht dem Material eine hohe Festigkeit und Steifigkeit, wodurch es für Anwendungen geeignet ist, die eine hohe mechanische Festigkeit erfordern.


SiC-Beschichtung wird in verschiedenen Anwendungen eingesetzt

LED-Herstellung: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor wird aufgrund seiner hohen Wärmeleitfähigkeit und chemischen Beständigkeit bei der Herstellung von verschiedenen LED-Typen verwendet, einschließlich blauer und grüner LED, UV-LED und Tief-UV-LED.



Mobilkommunikation: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor ist ein entscheidender Teil des HEMT, um den GaN-auf-SiC-Epitaxieprozess abzuschließen.



Halbleiterverarbeitung: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor wird in der Halbleiterindustrie für verschiedene Anwendungen verwendet, einschließlich Waferverarbeitung und Epitaxiewachstum.





SiC-beschichtete Graphitbauteile

Die Beschichtung aus Graphit mit Siliziumkarbidbeschichtung (SiC) wird durch ein CVD-Verfahren auf bestimmte Sorten von Graphit mit hoher Dichte aufgebracht, sodass sie im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre und 2200 °C im Vakuum betrieben werden kann .

Die besonderen Eigenschaften und die geringe Masse des Materials ermöglichen schnelle Aufheizraten, gleichmäßige Temperaturverteilung und hervorragende Regelgenauigkeit.


Materialdaten der Semicorex SiC-Beschichtung

Typische Eigenschaften

Einheiten

Werte

Struktur


FCC β-Phase

Orientierung

Bruchteil (%)

111 bevorzugt

Schüttdichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Wärmeausdehnung 100–600 °C (212–1112 °F)

10-6K-1

4.5

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Körnung

μm

2~10

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Schlussfolgerung Ein CVD-SiC-beschichteter Suszeptor ist ein Verbundmaterial, das die Eigenschaften eines Suszeptors und von Siliziumkarbid kombiniert. Dieses Material besitzt einzigartige Eigenschaften, einschließlich hoher Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit, ausgezeichneter Verschleißfestigkeit, hoher Wärmeleitfähigkeit sowie hoher Festigkeit und Steifigkeit. Diese Eigenschaften machen es zu einem attraktiven Material für verschiedene Hochtemperaturanwendungen, einschließlich Halbleiterverarbeitung, chemische Verarbeitung, Wärmebehandlung, Solarzellenherstellung und LED-Herstellung.






View as  
 
GaN-auf-Si-Epi-Wafer-Chuck

GaN-auf-Si-Epi-Wafer-Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck ist ein präzisionsgefertigter Substrathalter, der speziell für die Handhabung und Verarbeitung von Galliumnitrid auf epitaktischen Siliziumwafern entwickelt wurde. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

WeiterlesenAnfrage absenden
SiC-Wafer-Suszeptoren für MOCVD

SiC-Wafer-Suszeptoren für MOCVD

Die SiC-Wafer-Suszeptoren von Semicorex für MOCVD sind ein Paradebeispiel für Präzision und Innovation und wurden speziell für die epitaktische Abscheidung von Halbleitermaterialien auf Wafern entwickelt. Aufgrund ihrer hervorragenden Materialeigenschaften können die Platten den strengen Bedingungen des epitaktischen Wachstums standhalten, einschließlich hoher Temperaturen und korrosiver Umgebungen, was sie für die hochpräzise Halbleiterfertigung unverzichtbar macht. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-Wafer-Suszeptoren für MOCVD, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.

WeiterlesenAnfrage absenden
Waferträger mit SiC-Beschichtung

Waferträger mit SiC-Beschichtung

Die Semicorex-Waferträger mit SiC-Beschichtung, ein integraler Bestandteil des epitaktischen Wachstumssystems, zeichnen sich durch ihre außergewöhnliche Reinheit, Beständigkeit gegenüber extremen Temperaturen und robusten Dichtungseigenschaften aus und dienen als Ablage, die für die Unterstützung und Erwärmung von Halbleiterwafern während des Wachstums unerlässlich ist kritische Phase der Epitaxieschichtabscheidung und optimiert so die Gesamtleistung des MOCVD-Prozesses. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker Waferträger mit SiC-Beschichtung, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.

WeiterlesenAnfrage absenden
GaN-Epitaxieträger

GaN-Epitaxieträger

Der Semicorex GaN Epitaxy Carrier ist von zentraler Bedeutung in der Halbleiterfertigung und integriert fortschrittliche Materialien und Präzisionstechnik. Dieser Träger zeichnet sich durch seine CVD-SiC-Beschichtung aus und bietet außergewöhnliche Haltbarkeit, thermische Effizienz und Schutzfunktionen, wodurch er sich in der Branche als herausragend erweist. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker GaN-Epitaxieträger, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.

WeiterlesenAnfrage absenden
SiC-beschichtete Waferscheibe

SiC-beschichtete Waferscheibe

Die SiC-beschichtete Waferscheibe von Semicorex stellt einen führenden Fortschritt in der Halbleiterfertigungstechnologie dar und spielt eine wesentliche Rolle im komplexen Prozess der Halbleiterherstellung. Diese mit größter Präzision gefertigte Scheibe besteht aus hochwertigem SiC-beschichtetem Graphit und bietet hervorragende Leistung und Haltbarkeit für Siliziumepitaxieanwendungen. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-beschichteter Waferscheiben, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.

WeiterlesenAnfrage absenden
SiC-Wafer-Tablett

SiC-Wafer-Tablett

Das Semicorex SiC Wafer Tray ist ein wichtiger Bestandteil des MOCVD-Prozesses (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition) und wurde sorgfältig entwickelt, um Halbleiterwafer während des wesentlichen Schritts der epitaktischen Schichtabscheidung zu stützen und zu erhitzen. Dieses Tablett ist ein wesentlicher Bestandteil der Halbleiterbauelementfertigung, bei der die Präzision des Schichtwachstums von größter Bedeutung ist. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-Wafer-Trays, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.

WeiterlesenAnfrage absenden
Semicorex produziert seit vielen Jahren Siliziumkarbid beschichtet und ist einer der professionellen Siliziumkarbid beschichtet Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept