China Siliziumkarbid beschichtet Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Die SiC-Beschichtung ist eine dünne Schicht auf dem Suszeptor durch das chemische Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD). Siliziumkarbid-Material bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber Silizium, einschließlich der 10-fachen elektrischen Durchschlagsfeldstärke, der 3-fachen Bandlücke, was dem Material eine hohe Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit, eine hervorragende Verschleißfestigkeit sowie eine Wärmeleitfähigkeit verleiht.

Semicorex bietet maßgeschneiderten Service, hilft Ihnen bei Innovationen mit Komponenten, die länger halten, Zykluszeiten verkürzen und Erträge verbessern.

Die SiC-Beschichtung besitzt mehrere einzigartige Vorteile

Hohe Temperaturbeständigkeit: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor kann hohen Temperaturen von bis zu 1600 °C standhalten, ohne einer signifikanten thermischen Verschlechterung zu unterliegen.

Chemikalienbeständigkeit: Die Siliziumkarbidbeschichtung bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen eine Vielzahl von Chemikalien, einschließlich Säuren, Laugen und organischen Lösungsmitteln.

Verschleißfestigkeit: Die SiC-Beschichtung verleiht dem Material eine hervorragende Verschleißfestigkeit, wodurch es für Anwendungen mit hohem Verschleiß geeignet ist.

Wärmeleitfähigkeit: Die CVD-SiC-Beschichtung verleiht dem Material eine hohe Wärmeleitfähigkeit, wodurch es für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen geeignet ist, die eine effiziente Wärmeübertragung erfordern.

Hohe Festigkeit und Steifigkeit: Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor verleiht dem Material eine hohe Festigkeit und Steifigkeit, wodurch es für Anwendungen geeignet ist, die eine hohe mechanische Festigkeit erfordern.

SiC-Beschichtung wird in verschiedenen Anwendungen eingesetzt

LED-Herstellung: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor wird aufgrund seiner hohen Wärmeleitfähigkeit und chemischen Beständigkeit bei der Herstellung von verschiedenen LED-Typen verwendet, einschließlich blauer und grüner LED, UV-LED und Tief-UV-LED.

Mobilkommunikation: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor ist ein entscheidender Teil des HEMT, um den GaN-auf-SiC-Epitaxieprozess abzuschließen.

Halbleiterverarbeitung: CVD-SiC-beschichteter Suszeptor wird in der Halbleiterindustrie für verschiedene Anwendungen verwendet, einschließlich Waferverarbeitung und Epitaxiewachstum.

SiC-beschichtete Graphitbauteile

Die Beschichtung aus Graphit mit Siliziumkarbidbeschichtung (SiC) wird durch ein CVD-Verfahren auf bestimmte Sorten von Graphit mit hoher Dichte aufgebracht, sodass sie im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre und 2200 °C im Vakuum betrieben werden kann .

Die besonderen Eigenschaften und die geringe Masse des Materials ermöglichen schnelle Aufheizraten, gleichmäßige Temperaturverteilung und hervorragende Regelgenauigkeit.

Materialdaten der Semicorex SiC-Beschichtung

Schlussfolgerung Ein CVD-SiC-beschichteter Suszeptor ist ein Verbundmaterial, das die Eigenschaften eines Suszeptors und von Siliziumkarbid kombiniert. Dieses Material besitzt einzigartige Eigenschaften, einschließlich hoher Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit, ausgezeichneter Verschleißfestigkeit, hoher Wärmeleitfähigkeit sowie hoher Festigkeit und Steifigkeit. Diese Eigenschaften machen es zu einem attraktiven Material für verschiedene Hochtemperaturanwendungen, einschließlich Halbleiterverarbeitung, chemische Verarbeitung, Wärmebehandlung, Solarzellenherstellung und LED-Herstellung.