Fokusringe oder Kantenringe dienen zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Ätzung rund um die Kante oder den Umfang des Wafers.
Semicorex-Fokusringe sind mit Siliziumkarbid mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) beschichtet und bieten eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konstante Epi-Schichtdicke und -beständigkeit sowie dauerhafte chemische Beständigkeit und sind so konstruiert, dass sie den extremen Umgebungen beim Plasmaätzen oder Trockenätzprozess standhalten .