China Fokusring Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Der Fokusring oder die Kantenringe sind so ausgelegt, dass sie die Gleichmäßigkeit des Ätzens um die Kante oder den Umfang des Wafers herum verbessern.

Semicorex-Fokusringe sind mit CVD (Chemical Vapor Deposition) mit Siliziumkarbid beschichtet und bieten eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konsistente Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit, die so konstruiert sind, dass sie den extremen Umgebungen beim Plasmaätzen oder Trockenätzen standhalten .

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Langlebige Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung

Die langlebigen Fokusringe von Semicorex für die Halbleiterverarbeitung sind so konzipiert, dass sie den extremen Umgebungen von Plasmaätzkammern standhalten, die bei der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Unsere Fokusringe bestehen aus hochreinem Graphit, der mit einer dichten, verschleißfesten Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung beschichtet ist. Die SiC-Beschichtung hat hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit. Um die Lebensdauer unserer Fokusringe zu verbessern, tragen wir SiC im CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.

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Fokusring für Plasmaverarbeitung

Der Fokusring für die Plasmabearbeitung von Semicorex wurde speziell entwickelt, um die hohen Anforderungen der Plasmaätzbearbeitung in der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Unsere fortschrittlichen, hochreinen, mit Siliziumkarbid beschichteten Komponenten sind so konstruiert, dass sie extremen Umgebungen standhalten und für den Einsatz in verschiedenen Anwendungen geeignet sind, einschließlich Siliziumkarbidschichten und Epitaxie-Halbleitern.

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SiC-Fokusringe

Die fortschrittlichen, hochreinen SiC-Fokusringe von Semicorex sind so konstruiert, dass sie den extremen Umgebungen in Plasmaätzkammern (oder Trockenätzkammern) standhalten. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Semicorex produziert seit vielen Jahren Fokusring und ist einer der professionellen Fokusring Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.