Fokusringe oder Kantenringe dienen zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Ätzung rund um die Kante oder den Umfang des Wafers.
Semicorex-Fokusringe sind mit Siliziumkarbid mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) beschichtet und bieten eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konstante Epi-Schichtdicke und -beständigkeit sowie dauerhafte chemische Beständigkeit und sind so konstruiert, dass sie den extremen Umgebungen beim Plasmaätzen oder Trockenätzprozess standhalten .
Der Semicorex SiC Focus Ring ist eine Ringkomponente aus hochreinem Siliziumkarbid, die zur Optimierung der Plasmaverteilung und der Gleichmäßigkeit des Waferprozesses in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, können Sie gleichbleibende Qualität, fortschrittliche Materialtechnik und zuverlässige Leistung sicherstellen, auf die führende Halbleiterfabriken weltweit vertrauen.*
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