Zylindersuszeptoren sind eine kritische Komponente, die in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen wie LPE und MOCVD verwendet wird. Semicorex trägt mithilfe des chemischen Gasphasenabscheidungsverfahrens (CVD) hochreines Siliziumkarbid in dünnen Schichten auf den Graphit auf, wodurch das Material zu einem Halbleitermaterial mit ausgezeichneter thermischer Stabilität, chemischer Beständigkeit und Verschleißfestigkeit wird, was es ideal für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen macht. Temperaturprozesse.
● Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
● Hervorragende Hitzebeständigkeit und chemische Beständigkeit
● Hohe thermische Gleichmäßigkeit
● Hervorragende Verschleißfestigkeit