Der Semicorex RTP-Träger ist im CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) mit Siliziumkarbid beschichtet, das für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung sehr stabil ist. Das Herzstück des Halbleiterprozesses, die Epitaxie-Suszeptoren, werden zunächst der Abscheidungsumgebung ausgesetzt, sodass sie eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit aufweisen. Der mit SiC beschichtete Träger verfügt außerdem über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.
● Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
● Hervorragende Hitzebeständigkeit und chemische Beständigkeit
● Hohe thermische Gleichmäßigkeit
● Hervorragende Verschleißfestigkeit