Die SiC-Prozesstechnologie Chemical Vapour Deposition (CVD) ist für die Herstellung leistungsstarker Leistungselektronik unerlässlich und ermöglicht das präzise epitaktische Wachstum hochreiner Siliziumkarbidschichten auf Substratwafern. Durch die Nutzung der großen Bandlücke und der überlegenen Wär......
WeiterlesenBei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) werden hauptsächlich Eduktgase und Trägergase als Gase verwendet. Reaktionsgase stellen Atome oder Moleküle für das abgeschiedene Material bereit, während Trägergase zur Verdünnung und Kontrolle der Reaktionsumgebung verwendet werden. Nachfolgend sind ei......
WeiterlesenUnterschiedliche Anwendungsszenarien stellen unterschiedliche Leistungsanforderungen an Graphitprodukte, sodass eine präzise Materialauswahl ein zentraler Schritt bei der Anwendung von Graphitprodukten ist. Die Wahl von Graphitkomponenten mit einer Leistung, die zu den Anwendungsszenarien passt, kan......
WeiterlesenBevor wir uns mit der Prozesstechnologie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) für Siliziumkarbid (Sic) befassen, werfen wir zunächst einen Blick auf einige grundlegende Kenntnisse über die „chemische Gasphasenabscheidung“. Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist eine häufig verwendete T......
WeiterlesenDas thermische Feld des Einkristallwachstums ist die räumliche Temperaturverteilung innerhalb des Hochtemperaturofens während des Einkristallwachstumsprozesses, die sich direkt auf die Qualität, Wachstumsrate und Kristallbildungsrate des Einkristalls auswirkt. Das thermische Feld kann in stationäre ......
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