Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Das kundenspezifische SiC-Cantilever-Paddel von Semicorex ist zu einer unverzichtbaren Komponente in der Photovoltaikindustrie geworden und spielt eine entscheidende Rolle bei der effizienten und präzisen Handhabung von Siliziumwafern während Hochtemperatur-Diffusionsprozessen. Das kundenspezifische SiC-Cantilever-Paddel, das sorgfältig aus Hochleistungskeramik aus Siliziumkarbid (SiC) gefertigt wurde, bietet eine einzigartige Mischung von Eigenschaften, die für die Aufrechterhaltung der Waferintegrität, die Gewährleistung der Prozesseinheitlichkeit und die Maximierung der Produktivität in anspruchsvollen Diffusionsofenumgebungen unerlässlich sind.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC-Lager mit seiner außergewöhnlichen Härte, Festigkeit und chemischen Inertheit haben sich zu einem Eckpfeilermaterial für anspruchsvolle technische Anwendungen in verschiedenen Branchen entwickelt. Bei der Verarbeitung zu Lagern ermöglicht SiC ein neues Maß an Leistung und Zuverlässigkeit, insbesondere in Umgebungen, die durch extreme Temperaturen, korrosive Substanzen und strenge Reinheitsanforderungen gekennzeichnet sind. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung von Hochleistungs-SiC-Lagern, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex-Siliziumkarbid-Dichtring hat sich zu einer entscheidenden Schlüsseltechnologie in der Halbleiterindustrie entwickelt und bietet beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit angesichts immer anspruchsvollerer Prozessbedingungen. Ihre einzigartige Kombination von Materialeigenschaften macht es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und gewährleistet eine optimale Geräteverfügbarkeit, längere Lebenszyklen der Komponenten und letztendlich niedrigere Gesamtbetriebskosten. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker Siliziumkarbid-Dichtungsringe das Qualität mit Kosteneffizienz verbindet.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Aluminiumnitrid-Isolatorringe sind unverzichtbare Komponenten in der modernen Halbleiterfertigung, insbesondere bei Hochfrequenz-Wärmebehandlungsprozessen. Ihre einzigartige Kombination aus Hochtemperaturstabilität, hervorragenden Dichtungseigenschaften, außergewöhnlicher Wärmeleitfähigkeit und inhärenter Haltbarkeit macht sie unverzichtbar für die Gewährleistung einer präzisen Prozesssteuerung, hoher Geräteausbeuten und einer längeren Gerätelebensdauer in der anspruchsvollen Umgebung der Halbleiterfertigung. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker Aluminiumnitrid-Isolatorringe, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**
WeiterlesenAnfrage absendenElektrostatische Spannfutter aus Aluminiumnitrid von Semicorex bieten eine überzeugende Kombination von Eigenschaften, die sie ideal für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterwaferverarbeitung geeignet machen. Ihre Fähigkeit, eine sichere und gleichmäßige Waferklemmung, ein hervorragendes Wärmemanagement und eine Beständigkeit gegenüber rauen Verarbeitungsumgebungen zu gewährleisten, führt zu einer verbesserten Geräteleistung, höheren Erträgen und geringeren Herstellungskosten. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker elektrostatischer Aluminiumnitrid-Spannfutter, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC-Wafer-Inspektionsspannfutter sind entscheidende Wegbereiter für die fortschrittliche Halbleiterfertigung und erfüllen die steigenden Anforderungen an Präzision, Sauberkeit und Durchsatz. Ihre überlegenen Materialeigenschaften führen zu spürbaren Vorteilen im gesamten Wafer-Herstellungsprozess und tragen letztendlich zu höheren Erträgen, einer verbesserten Geräteleistung und niedrigeren Gesamtherstellungskosten bei. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker SiC-Wafer-Inspektionsfutter, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**
WeiterlesenAnfrage absenden