SiC-beschichtete Gasumleitungsscheiben

Semicorex ist ein Paradebeispiel für fortschrittliche Halbleitermaterialien und modernste FertigungstechnologienSiC-beschichtetGasumlenkscheiben werden präzise aus hochreinem Graphit als Matrize mit einer dichten SiC-Beschichtung durch chemische Gasphasenabscheidung hergestellt. Gasumleitungsscheiben dienen hauptsächlich dazu, Reaktionsgas gleichmäßig über die Waferoberfläche zu verteilen, um vollständige Reaktionen während der Verarbeitung sicherzustellen und so die Bildung konsistenter und gleichmäßiger einkristalliner Dünnfilme zu erleichtern.

Die Vorteile von Semicorex SiC-beschichteten Gasumlenkscheiben

1.Hohe Materialreinheit

Semicorex hält strenge Produktqualitätsstandards ein, angefangen bei der sorgfältigen Materialauswahl. Dank dieser strengen Reinheitskontrolle des Rohmaterials liefern Semicorex SiC-beschichtete Gasumleitungsscheiben einen geringen Verunreinigungsgehalt und zeichnen sich durch hervorragende Sauberkeit aus. Dadurch kann erheblich verhindert werden, dass Metallionen und andere Verunreinigungen die Halbleiterepitaxieprozesse beeinträchtigen.

2. Hervorragende thermische Stabilität

Die in diesen Systemen verwendeten Komponenten müssen eine außergewöhnliche thermische Stabilität aufweisen, da Halbleiter-Epitaxiegeräte typischerweise bei Temperaturen über 1400 °C arbeiten. Diese außergewöhnliche thermische Stabilität kann sicherstellen, dass die SiC-beschichteten Gasumleitungsscheiben von Semicorex den anspruchsvollen Hochtemperatur-Betriebsbedingungen standhalten und die durch hohe Temperaturen während des Betriebs verursachte Freisetzung von Verunreinigungen wirksam verhindern können, was zur Gewährleistung der Qualität und Ausbeute epitaktischer Wafer beiträgt.

3. Bemerkenswerte Korrosionsbeständigkeit bei hohen Temperaturen

Ungeschützte Graphitmatrizen sind anfällig für Korrosion und Partikelbildung, weshalb Gasumlenkscheiben üblicherweise mit einer Siliziumkarbidbeschichtung behandelt werden, um ihre Korrosionsbeständigkeit zu erhöhen. Die mit einer dichten SiC-Beschichtung versehenen Semicorex SiC-beschichteten Gasumleitungsscheiben bieten eine hervorragende Oxidations- und chemische Korrosionsbeständigkeit, wodurch sie auch unter anspruchsvollen Hochtemperatur- und korrosiven Betriebsbedingungen über eine lange Lebensdauer zuverlässig funktionieren.

4.Flexible Anpassungsmöglichkeiten

Semicorex ist mit mehreren fortschrittlichen Bearbeitungsgeräten wie CNC-Bearbeitungsgeräten, Flachschleifmaschinen und Ultraschallbohrgeräten ausgestattet und bietet erfahrene Bearbeitungsmöglichkeiten. Semicorex ist in der Lage, flexible Anpassungsdienste gemäß Kundenzeichnungen anzubieten und die Abmessungen, Toleranzen, Oberflächenebenheit, Lochdurchmesser und Lochabstände von SiC-beschichteten Gasumleitungsscheiben anzupassen, um eine nahtlose Kompatibilität mit den Epitaxiegeräten der Kunden sicherzustellen.