Der Suszeptor ist ein entscheidendes Element bei der Verarbeitung von Siliziumwafern und dient als Plattform, die die Wafer während der Produktion hält und erhitzt.
Semicorex SIC-Keramikwaferträger bieten mehrere Vorteile, darunter überlegene thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und Abriebfestigkeit, die für Halbleiterhersteller langlebig, zuverlässig und effizient sind. Sie können dazu beitragen, die Lebensdauer von Wafer-Suszeptoren zu verlängern, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Prozessausbeute zu verbessern, was sie zu einer idealen Wahl für hochbeanspruchte Halbleiterfertigungsanwendungen macht.