Semicorex-Wafer-Chucks aus Siliziumkarbid-Beschichtung durch MOCVD zeichnen sich durch eine hervorragende schnelle Abkühlungs- und Erwärmungsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und besonders lange Lebensdauer aus. Es ist das ideale Material, um Platten für Si-Wafer für verschiedene Prozesse bei der Chipproduktion in der Halbleiterindustrie zu halten und zu stützen.
● Steifigkeit
● Geringe Wärmeausdehnung
● Geringes Gewicht