Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Halbleiterkomponenten liefern. Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-beschichtete Bauteile sind für Prozesse in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Graphit-Verbrauchsmaterialien für Kristallzüchtungs-Heißzonen (Heizungen, Tiegel-Suszeptoren, Isolierung) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten für Wafer-Verarbeitungsanlagen, wie beispielsweise mit Siliziumkarbid beschichteten Graphit-Suszeptoren für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert hochreine, mit Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktionen, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bieten.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Endeffektor →
Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex Wafer Edge Mahling Chuck ist eine Keramikscheibe aus weißen Alumina mit hoher Purity, die zum Mahlen von Waferkanten in der Semiconductor-Herstellung ausgelegt ist. Die Auswahl von Semicorex sorgt für überlegene Materialqualität, Präzisionstechnik und zuverlässige Leistung, die die anspruchsvollsten Waferverarbeitungsumgebungen unterstützen.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemikorex poröse Aluminiumoxid -Chucks sind mikroporöse schwarze Aluminiumoxid -Vakuum -Leuchten mit 35–40% Porosität, die ein gleichmäßiges Absaugen und eine sichere Handhabung des Wafers bei der Herstellung von Halbleiter bieten. Auswahl von Semicorex bedeutet zuverlässige Keramiktechnik, überlegene Materialqualität und konsistente Leistung, die die Ertrags- und Prozessstabilität schützt.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex AL2O3 Vakuum -Chucks sind mikroporöse Keramikadsorptionslebevorrichtungen aus schwarzem Aluminiumoxid mit einer Porosität von 35 bis 40%, die speziell für die Waferhandhabung in Halbleiteranwendungen ausgelegt sind. Auswahl von Semicorex bedeutet, von fortschrittlicher Keramiktechnologie, Präzisionstechnik und zuverlässiger Produktqualität zu profitieren, die eine stabile Leistung in anspruchsvollen Reinraumumgebungen gewährleisten.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex Alumina Ceramic Arm ist eine hochreines Roboterkomponente für eine präzise und kontaminationsfreie Waferhandhabung bei der Herstellung von Halbleiter. Die Auswahl von Semicorex stellt nicht nur eine fortgeschrittene Qualität der Alumina -Keramikmaterial, sondern auch die Präzisionshandwerkskunst sicher, die Haltbarkeit, Sauberkeit und Zuverlässigkeit in kritischen Prozessumgebungen garantiert.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-SIC-Einlassringe sind Hochleistungs-Siliziumkarbidkomponenten für Halbleiterverarbeitungsgeräte und bieten außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Widerstand und Präzisionsbearbeitung. Auswahl von Semicorex bedeutet, Zugang zu zuverlässigen, maßgeschneiderten und kontaminationsfreien Lösungen zu erhalten, die von führenden Halbleiterherstellern vertrauen.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SIC Arm ist eine hohe Püre-Silizium-Carbid-Komponente, die für eine präzise Waferhandhabung und -positionierung in der Herstellung von Halbleiter ausgelegt ist. Die Wahl von Semicorex sorgt für unübertroffene Materialzuverlässigkeit, chemische Resistenz und Präzisionstechnik, die die anspruchsvollsten Halbleiterprozesse unterstützen.*
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