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China Halbleiterkomponenten Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Halbleiterkomponenten liefern. Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.

Hochreine SiC-beschichtete Bauteile sind für Prozesse in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Graphit-Verbrauchsmaterialien für Kristallzüchtungs-Heißzonen (Heizungen, Tiegel-Suszeptoren, Isolierung) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten für Wafer-Verarbeitungsanlagen, wie beispielsweise mit Siliziumkarbid beschichteten Graphit-Suszeptoren für Epitaxie oder MOCVD.

Vorteile für Halbleiterprozesse

Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert hochreine, mit Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktionen, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bieten.

Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.

Endeffektor →
Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt.

Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.

Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.

Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.

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Einkristalline Siliziumelektroden

Semicorex-Einkristall-Siliziumelektroden dienen während des Wafer-Ätzprozesses sowohl als Elektroden als auch als Ätzgaswege. Die einkristallinen Siliziumelektroden von Semicorex sind unverzichtbare Siliziumkomponenten, die speziell für die Herstellung hochwertiger Halbleiterätze entwickelt wurden und dabei helfen können, die Präzision und Gleichmäßigkeit des Ätzens zu verbessern.

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Auslegerpaddel

Semicorex Cantilever Paddles sind präzisionsgefertigte Komponenten, die für Hochtemperatur- und hochreine Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurden. Semicorex bietet hochwertige Cantilever-Paddles, um die anspruchsvollen Anforderungen moderner Wafer-Handhabungs- und Wärmemanagementsysteme zu erfüllen.*

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Silikon-Ätzringe

Semicorex-Siliziumätzringe sind präzise ringförmige Ätzkomponenten, die aus hochreinem einkristallinem Silizium hergestellt werden. Sie sind die wesentlichen Siliziumteile, die in Plasmaätzgeräten verwendet werden und speziell für die Schaffung optimaler Plasmaätzbedingungen entwickelt wurden. Entscheiden Sie sich für Semicorex, entscheiden Sie sich für die hochwertigen Ätzringe aus Silikon.

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Ofenrohre für LPCVD

Semicorex-Ofenrohre für LPCVD sind präzisionsgefertigte Rohrkomponenten mit gleichmäßiger und dichter CVD-SiC-Beschichtung. Semicorex-Ofenrohre für LPCVD wurden speziell für den fortschrittlichen Niederdruck-chemischen Gasphasenabscheidungsprozess entwickelt und sind in der Lage, geeignete Hochtemperatur- und Niederdruck-Reaktionsumgebungen bereitzustellen, um die Qualität und Ausbeute der Wafer-Dünnschichtabscheidung zu verbessern.

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CVD SiC-beschichtete Ofenrohre

Semicorex CVD SiC-beschichtete Ofenrohre sind hochwertige Rohrkomponenten, die speziell für die Hochtemperatur-Halbleiterverarbeitung wie Oxidation, Diffusion und Glühen von Halbleiterwafern hergestellt werden. Durch den Einsatz fortschrittlicher Verarbeitungstechnologien und ausgereifter Fertigungserfahrung ist Semicorex bestrebt, unseren geschätzten Kunden präzisionsgefertigte CVD-SiC-beschichtete Ofenrohre in marktführender Qualität zu liefern.

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SiC-Prozessrohre

Semicorex SiC-Prozessrohre werden aus hochreiner SiC-Keramik mit CVD-SiC-Beschichtung hergestellt und eignen sich für horizontale Öfen in der Halbleiterindustrie. Im Hinblick auf die Produktqualität und den Kundendienst ist Semicorex derjenige, der qualitativ hochwertige Geschäfte mit seinen weltweiten Kunden tätigen möchte.*

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Semicorex produziert seit vielen Jahren Halbleiterkomponenten und ist einer der professionellen Halbleiterkomponenten Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.