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China Halbleiterkomponenten Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Halbleiterkomponenten liefern. Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.

Hochreine SiC-beschichtete Bauteile sind für Prozesse in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Graphit-Verbrauchsmaterialien für Kristallzüchtungs-Heißzonen (Heizungen, Tiegel-Suszeptoren, Isolierung) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten für Wafer-Verarbeitungsanlagen, wie beispielsweise mit Siliziumkarbid beschichteten Graphit-Suszeptoren für Epitaxie oder MOCVD.

Vorteile für Halbleiterprozesse

Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert hochreine, mit Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktionen, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bieten.

Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.

Endeffektor →
Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt.

Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.

Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.

Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.

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SiC-beschichtete Heizelemente

Semicorex SiC-beschichtete Heizelemente sind CVD-SiC-beschichtete Graphitheizkomponenten, die für Halbleiter-Wärmefelder entwickelt wurden und eine effiziente Wärmeerzeugung, hervorragende Korrosionsbeständigkeit und langfristige Zuverlässigkeit in Hochtemperatur-Verarbeitungsgeräten bieten. Semicorex liefert maßgeschneiderte SiC-beschichtete Graphitheizungen und komplette Wärmefeldlösungen an Halbleiterhersteller weltweit, unterstützt durch fortschrittliche CVD-Beschichtungstechnologie, Präzisionstechnik und zuverlässige globale Lieferung.*

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SiC-Keramikpaddel

Semicorex SiC-Keramikpaddel sind freitragende Waferträger aus hochreinem Siliziumkarbid, die für die zuverlässige Handhabung und den Transport von Wafern in Hochtemperatur-Halbleiterofenprozessen entwickelt wurden und eine hervorragende thermische Stabilität, geringe Kontamination und eine lange Lebensdauer bieten. Semicorex beliefert Kunden auf der ganzen Welt mit leistungsstarken SiC-Keramikofenkomponenten und bietet maßgeschneiderte Designs, Präzisionsfertigung und zuverlässige globale Lieferung für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie.*

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Halbmondkomponenten

Semicorex-Halbmondkomponenten sind präzisionsgefertigte, mit Graphit und Siliziumkarbid beschichtete Reaktorteile, die für den Einsatz in Epitaxie-Wachstumskammern im LPE-Stil konzipiert sind. Diese Komponenten spielen eine entscheidende Rolle bei der Aufrechterhaltung der thermischen Gleichmäßigkeit, der Gasströmungsstabilität und der Prozessreinheit bei epitaktischen Hochtemperatur-Abscheidungsprozessen in der Halbleiterfertigung. Semicorex ist auf die Herstellung kundenspezifischer Reaktorkomponenten spezialisiert, die mit LPE-Kammerstrukturen kompatibel sind, und bietet weltweit leistungsstarke Lösungen für fortschrittliche epitaktische Verarbeitungssysteme.*

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SiC-Horizontalofenrohr

Semicorex SiC Horizontal Furnace Tube ist eine fortschrittliche Hochtemperatur-Prozesskomponente, die für Halbleiterdiffusions-, Oxidations-, Glüh- und Wärmebehandlungssysteme entwickelt wurde. Semicorex liefert Hochleistungs-SiC-Horizontalofenrohre an Kunden weltweit und liefert zuverlässige Keramiklösungen in Halbleiterqualität für Hochtemperatur-Prozessanlagen und fortschrittliche Wafer-Herstellungsanwendungen.*

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Poly-Si-Außenringe zum Ätzen

Semicorex Poly-Si-Außenringe zum Ätzen sind die präzisionsgefertigten Ringteile aus Poly-Silizium-Materialien. Die speziell für die Elektrodensysteme moderner Ätzgeräte entwickelten Poly-Si-Außenringe von Semicorex zum Ätzen können die Stabilität des Ätzprozesses effektiv gewährleisten. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, erhalten Sie hochwertige Poly-Si-Außenringe zum Ätzen, die die Waferausbeute und die Betriebseffizienz steigern können.

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Gebogene Siliziumelektroden

Gebogene Semicorex-Siliziumelektroden sind die wesentlichen Siliziumkomponenten, die sowohl als obere Elektroden als auch als Ätzgaskanäle in hochpräzisen Halbleiterätzprozessen fungieren. Gebogene Semicorex-Siliziumelektroden sind die idealen Lösungen zur Optimierung des Ätzenergiefelds, die häufig in Ätzgeräten für Advanced Packaging (TSV, WLCSP) und 3D-strukturierte Wafer eingesetzt werden.

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Semicorex produziert seit vielen Jahren Halbleiterkomponenten und ist einer der professionellen Halbleiterkomponenten Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.