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Unterschiede zwischen SiC-Kristallen mit unterschiedlichen Strukturen

Siliziumkarbid (SiC) ist ein Material mit außergewöhnlicher thermischer, physikalischer und chemischer Stabilität und weist Eigenschaften auf, die über die herkömmlicher Materialien hinausgehen. Seine Wärmeleitfähigkeit beträgt erstaunliche 84 W/(m·K) und ist damit nicht nur höher als die von Kupfer......

Was ist eine TaC-Beschichtung auf Graphit?

Im sich schnell entwickelnden Bereich der Halbleiterfertigung können selbst kleinste Verbesserungen einen großen Unterschied machen, wenn es darum geht, optimale Leistung, Haltbarkeit und Effizienz zu erreichen. Ein Fortschritt, der in der Branche für großes Aufsehen sorgt, ist die Verwendung einer ......

Material zur Wärmefeldisolierung

Der Prozess des monokristallinen Siliziumwachstums findet überwiegend in einem thermischen Feld statt, wobei die Qualität der thermischen Umgebung die Kristallqualität und Wachstumseffizienz erheblich beeinflusst. Die Gestaltung des Wärmefeldes spielt eine entscheidende Rolle bei der Gestaltung von ......

Was ist ein SiC-beschichteter Graphitsuszeptor?

Um den SiC-beschichteten Graphitsuszeptor vorzustellen, ist es wichtig, seine Anwendung zu verstehen. Bei der Herstellung von Geräten müssen auf einigen Wafersubstraten weitere Epitaxieschichten aufgebaut werden.

Was sind die Herausforderungen bei der Herstellung von Siliziumkarbidsubstraten?

Siliziumkarbid (SiC) ist ein Material, das eine hohe Bindungsenergie besitzt, ähnlich wie andere harte Materialien wie Diamant und kubisches Bornitrid. Allerdings erschwert die hohe Bindungsenergie von SiC die direkte Kristallisation zu Barren mit herkömmlichen Schmelzmethoden. Daher beinhaltet der ......

Siliziumkarbid-Industrie

Die Siliziumkarbid-Industrie umfasst eine Kette von Prozessen, die die Substraterstellung, das epitaktische Wachstum, das Gerätedesign, die Geräteherstellung, die Verpackung und das Testen umfasst. Im Allgemeinen wird Siliziumkarbid in Form von Barren hergestellt, die dann in Scheiben geschnitten, g......

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