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Epitaxieschichten: Die Grundlage fortschrittlicher Halbleiterbauelemente

In der Halbleiterindustrie spielen Epitaxieschichten eine entscheidende Rolle, indem sie auf einem Wafersubstrat spezifische einkristalline Dünnfilme bilden, die zusammenfassend als Epitaxiewafer bezeichnet werden. Insbesondere epitaktische Schichten aus Siliziumkarbid (SiC), die auf leitfähigen SiC......

Poröser Graphit für das SiC-Kristallwachstum

Derzeit verwenden die meisten SiC-Substrathersteller ein neues Tiegel-Thermofeld-Prozessdesign mit porösen Graphitzylindern: Sie platzieren hochreine SiC-Partikel-Rohmaterialien zwischen der Graphittiegelwand und dem porösen Graphitzylinder, während der gesamte Tiegel vertieft und der Tiegeldurchmes......

Die entscheidende Rolle epitaktischer Schichten in Halbleiterbauelementen

Unter epitaktischem Wachstum versteht man den Prozess des Aufwachsens einer kristallographisch wohlgeordneten monokristallinen Schicht auf einem Substrat. Im Allgemeinen umfasst das epitaktische Wachstum die Züchtung einer Kristallschicht auf einem einkristallinen Substrat, wobei die gewachsene Schi......

GaN kennen

In letzter Zeit widmet die Halbleiterindustrie der Galliumnitrid-Technologie (GaN) immer mehr Aufmerksamkeit. Aufgrund seiner hervorragenden elektronischen Eigenschaften finden Galliumnitrid-Geräte wichtige Anwendungen in vielen High-Tech-Bereichen:

Plasmaprozesse im CVD-Betrieb

Unter chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) versteht man eine Prozesstechnologie, bei der mehrere gasförmige Reaktanten bei unterschiedlichen Partialdrücken unter bestimmten Temperatur- und Druckbedingungen eine chemische Reaktion eingehen. Der resultierende Feststoff lagert sich auf der Oberfläche ......

Der Aufschwung und die Aussichten des Marktes für Siliziumkarbid (SiC)-Leistungsgeräte

Da die weltweite Akzeptanz von Elektrofahrzeugen allmählich zunimmt, wird Siliziumkarbid (SiC) im kommenden Jahrzehnt neue Wachstumschancen eröffnen. Es wird erwartet, dass sich Hersteller von Leistungshalbleitern und Betreiber in der Automobilindustrie aktiver am Aufbau der Wertschöpfungskette dies......

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