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Prozess des Substratschneidens und -schleifens

Das SiC-Substratmaterial ist der Kern des SiC-Chips. Der Herstellungsprozess des Substrats erfolgt wie folgt: Nach Erhalt des SiC-Kristallbarrens durch Einkristallwachstum; Anschließend erfordert die Vorbereitung des SiC-Substrats ein Glätten, Abrunden, Schneiden und Schleifen (Ausdünnen). mechanisc......

Das erste Unternehmen für die Industrialisierung von 6-Zoll-Galliumoxidsubstraten

Kürzlich gab unser Unternehmen bekannt, dass es erfolgreich einen 6-Zoll-Galliumoxid-Einkristall mithilfe der Gussmethode entwickelt hat und damit das erste inländische Industrieunternehmen ist, das die Technologie zur Herstellung von 6-Zoll-Galliumoxid-Einkristallsubstraten beherrscht.

Unterschiede zwischen SiC-Kristallen mit unterschiedlichen Strukturen

Siliziumkarbid (SiC) ist ein Material mit außergewöhnlicher thermischer, physikalischer und chemischer Stabilität und weist Eigenschaften auf, die über die herkömmlicher Materialien hinausgehen. Seine Wärmeleitfähigkeit beträgt erstaunliche 84 W/(m·K) und ist damit nicht nur höher als die von Kupfer......

Was ist eine TaC-Beschichtung auf Graphit?

Im sich schnell entwickelnden Bereich der Halbleiterfertigung können selbst kleinste Verbesserungen einen großen Unterschied machen, wenn es darum geht, optimale Leistung, Haltbarkeit und Effizienz zu erreichen. Ein Fortschritt, der in der Branche für großes Aufsehen sorgt, ist die Verwendung einer ......

Material zur Wärmefeldisolierung

Der Prozess des monokristallinen Siliziumwachstums findet überwiegend in einem thermischen Feld statt, wobei die Qualität der thermischen Umgebung die Kristallqualität und Wachstumseffizienz erheblich beeinflusst. Die Gestaltung des Wärmefeldes spielt eine entscheidende Rolle bei der Gestaltung von ......

Was ist ein SiC-beschichteter Graphitsuszeptor?

Um den SiC-beschichteten Graphitsuszeptor vorzustellen, ist es wichtig, seine Anwendung zu verstehen. Bei der Herstellung von Geräten müssen auf einigen Wafersubstraten weitere Epitaxieschichten aufgebaut werden.

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