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Was sind SiC-beschichtete Graphitsuszeptoren?

Das Tablett (Basis), das SiC-Wafer trägt, auch „Suszeptor“ genannt, ist eine Kernkomponente von Halbleiterfertigungsanlagen. Und was genau ist dieser Suszeptor, der die Wafer trägt?

Was ist der Diffusionsofen?

Ein Diffusionsofen ist ein spezielles Gerät, mit dem Verunreinigungen kontrolliert in Halbleiterwafer eingebracht werden. Diese als Dotierstoffe bezeichneten Verunreinigungen verändern die elektrischen Eigenschaften von Halbleitern und ermöglichen so die Herstellung verschiedener Arten elektronische......

Was sind Cantilever-Paddel?

Die Waferboote, beladen mit einer Charge zu verarbeitender Wafer, werden auf langen, freitragenden Paddeln positioniert.

Wie läuft die isostatische Graphitherstellung ab?

Der Prozess der isostatischen Graphitherstellung umfasst die Auswahl der Rohstoffe, das Mischen, das Formen, das isostatische Pressen, die Karbonisierung und die Graphitisierung.

Was ist isostatischer Graphit?

Isostatischer Graphit ist eine Graphitart mit ultrafeiner Körnung. Es wird für Anwendungen eingesetzt, bei denen die mechanischen Eigenschaften anderer feinkörniger Graphite nicht ausreichen.

SiC-Epitaxie

Es gibt zwei Arten der Epitaxie: homogene und heterogene. Um SiC-Geräte mit spezifischem Widerstand und anderen Parametern für verschiedene Anwendungen herzustellen, muss das Substrat die Bedingungen der Epitaxie erfüllen, bevor mit der Produktion begonnen werden kann. Die Qualität der Epitaxie beei......

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