China TaC-Beschichtung Hersteller, Lieferanten, Fabrik

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) beschichtet wird.

Tantalcarbid (TaC) ist eine Verbindung, die aus Tantal und Kohlenstoff besteht. Es verfügt über metallische elektrische Leitfähigkeit und einen außergewöhnlich hohen Schmelzpunkt, was es zu einem feuerfesten Keramikmaterial macht, das für seine Festigkeit, Härte sowie Hitze- und Verschleißfestigkeit bekannt ist. Der Schmelzpunkt von Tantalkarbiden erreicht je nach Reinheit seinen Höhepunkt bei etwa 3880 °C und weist einen der höchsten Schmelzpunkte unter den binären Verbindungen auf. Dies macht es zu einer attraktiven Alternative, wenn höhere Temperaturanforderungen die Leistungsfähigkeit von Verbindungshalbleiter-Epitaxieprozessen wie MOCVD und LPE übersteigen.

Materialdaten der Semicorex TaC-Beschichtung

Projekte	Parameter
Dichte	14,3 (gm/cm³)
Emissionsgrad	0.3
WAK (×10^-6/K)	6.3
Härte (HK)	2000
Widerstand (Ohm-cm)	1×10^-5
Thermische Stabilität	<2500℃
Änderung der Graphitdimension	-10~-20um (Referenzwert)
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

Die oben genannten Werte sind typische Werte

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Wafer-Tablett mit TaC-Beschichtung

Das Wafer-Tablett mit TaC-Beschichtung von Semicorex muss so konstruiert sein, dass es den Herausforderungen standhält die extremen Bedingungen in der Reaktionskammer, einschließlich hoher Temperaturen und chemisch reaktiver Umgebungen.**

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TaC-Beschichtungsplatte

Die Semicorex TaC-Beschichtungsplatte zeichnet sich als Hochleistungskomponente für anspruchsvolle Epitaxieprozesse und weitere Halbleiterfertigungsumgebungen aus. Mit ihren hervorragenden Eigenschaften kann sie letztendlich die Produktivität und Kosteneffizienz fortschrittlicher Halbleiterfertigungsprozesse steigern.**

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Semicorex LPE SiC-Epi Halfmoon ist ein unverzichtbarer Aktivposten in der Welt der Epitaxie und bietet eine robuste Lösung für die Herausforderungen, die sich aus hohen Temperaturen, reaktiven Gasen und strengen Reinheitsanforderungen ergeben.**

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Waferfutter mit TaC-Beschichtung

Semicorex TaC Coating Wafer Chuck gilt als Höhepunkt der Innovation im Halbleiterepitaxieprozess, einer kritischen Phase in der Halbleiterfertigung. Mit unserem Engagement, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen zu liefern, sind wir bereit, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.*

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Semicorex produziert seit vielen Jahren TaC-Beschichtung und ist einer der professionellen TaC-Beschichtung Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.