China TaC-Beschichtung Hersteller, Lieferanten, Fabrik

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) beschichtet wird.

Tantalcarbid (TaC) ist eine Verbindung, die aus Tantal und Kohlenstoff besteht. Es verfügt über metallische elektrische Leitfähigkeit und einen außergewöhnlich hohen Schmelzpunkt, was es zu einem feuerfesten Keramikmaterial macht, das für seine Festigkeit, Härte sowie Hitze- und Verschleißfestigkeit bekannt ist. Der Schmelzpunkt von Tantalkarbiden erreicht je nach Reinheit seinen Höhepunkt bei etwa 3880 °C und weist einen der höchsten Schmelzpunkte unter den binären Verbindungen auf. Dies macht es zu einer attraktiven Alternative, wenn höhere Temperaturanforderungen die Leistungsfähigkeit von Verbindungshalbleiter-Epitaxieprozessen wie MOCVD und LPE übersteigen.

Materialdaten der Semicorex TaC-Beschichtung

Projekte	Parameter
Dichte	14,3 (gm/cm³)
Emissionsgrad	0.3
WAK (×10^-6/K)	6.3
Härte (HK)	2000
Widerstand (Ohm-cm)	1×10^-5
Thermische Stabilität	<2500℃
Änderung der Graphitdimension	-10~-20um (Referenzwert)
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

Die oben genannten Werte sind typische Werte

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TaC-beschichtetes Graphitfutter

Semicorex TaC Coated Graphite Chuck ist eine Hochleistungskomponente, die für die präzise Handhabung von Wafern und Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex aufgrund seiner innovativen, langlebigen Produkte, die optimale Leistung und Langlebigkeit in anspruchsvollen Halbleiteranwendungen gewährleisten.*

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TaC-Ring

Der Semicorex TaC-Ring ist eine Hochleistungskomponente, die für das Wachstum von SiC-Einkristallen entwickelt wurde und eine optimale Gasflussverteilung und Temperaturkontrolle gewährleistet. Wählen Sie Semicorex aufgrund unseres Fachwissens in fortschrittlichen Materialien und Präzisionstechnik und der Bereitstellung langlebiger und zuverlässiger Lösungen, die die Effizienz und Qualität Ihrer Halbleiterprozesse verbessern.*

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Tantalcarbid-Teil

Semicorex Tantalum Carbide Part ist eine TaC-beschichtete Graphitkomponente, die für den Hochleistungseinsatz in Siliziumkarbid (SiC)-Kristallwachstumsanwendungen entwickelt wurde und eine hervorragende Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit bietet. Wählen Sie Semicorex für zuverlässige, hochwertige Komponenten, die die Kristallqualität und Produktionseffizienz in der Halbleiterfertigung verbessern.*

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Tantalkarbidringe

Semicorex Tantalcarbid-Ringe sind wichtige Komponenten, die in fortschrittlichen Halbleiterfertigungsprozessen verwendet werden. Bei Semicorex sind wir für ihre außergewöhnliche Härte, ihren hohen Schmelzpunkt und ihre chemische Inertheit bekannt. Wir sind bestrebt, Produkte zu liefern, die den höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards entsprechen und sicherstellen, dass unsere Kunden an der Spitze der Innovation in der Halbleiterindustrie bleiben.*

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Wafer-Suszeptor mit TaC-Beschichtung

Der TaC Coating Wafer Susceptor von Semicorex ist eine mit Tantalkarbid beschichtete Graphitschale, die beim epitaktischen Wachstum von Siliziumkarbid zur Verbesserung der Waferqualität und -leistung verwendet wird. Wählen Sie Semicorex aufgrund seiner fortschrittlichen Beschichtungstechnologie und langlebigen Lösungen, die hervorragende Ergebnisse bei der SiC-Epitaxie und eine längere Lebensdauer des Suszeptors gewährleisten.*

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Führungsringe mit TaC-Beschichtung

Führungsringe mit TaC-Beschichtung sind Graphitringe mit einer Tantalkarbidbeschichtung, die für den Einsatz in Siliziumkarbid-Kristallwachstumsöfen zur Verbesserung der Kristallqualität entwickelt wurden. Wählen Sie Semicorex aufgrund seiner fortschrittlichen Beschichtungstechnologie, die eine überragende Haltbarkeit, thermische Stabilität und optimierte Kristallwachstumsleistung gewährleistet.*

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Semicorex produziert seit vielen Jahren TaC-Beschichtung und ist einer der professionellen TaC-Beschichtung Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.