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China TaC-Beschichtung Hersteller, Lieferanten, Fabrik

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) beschichtet wird.



Tantalcarbid (TaC) ist eine Verbindung, die aus Tantal und Kohlenstoff besteht. Es verfügt über metallische elektrische Leitfähigkeit und einen außergewöhnlich hohen Schmelzpunkt, was es zu einem feuerfesten Keramikmaterial macht, das für seine Festigkeit, Härte sowie Hitze- und Verschleißfestigkeit bekannt ist. Der Schmelzpunkt von Tantalkarbiden erreicht je nach Reinheit seinen Höhepunkt bei etwa 3880 °C und weist einen der höchsten Schmelzpunkte unter den binären Verbindungen auf. Dies macht es zu einer attraktiven Alternative, wenn höhere Temperaturanforderungen die Leistungsfähigkeit von Verbindungshalbleiter-Epitaxieprozessen wie MOCVD und LPE übersteigen.


Materialdaten der Semicorex TaC-Beschichtung

Projekte

Parameter

Dichte

14,3 (gm/cm³)

Emissionsgrad

0.3

WAK (×10-6/K)

6.3

Härte (HK)

2000

Widerstand (Ohm-cm)

1×10-5

Thermische Stabilität

<2500℃

Änderung der Graphitdimension

-10~-20um (Referenzwert)

Beschichtungsdicke

≥20um typischer Wert (35um±10um)



Die oben genannten Werte sind typische Werte




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TaC-Beschichtungsführungsring

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Der TaC-Beschichtungsführungsring von Semicorex dient als zentraler Bestandteil von Geräten zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und gewährleistet die präzise und stabile Zufuhr von Vorläufergasen während des epitaktischen Wachstumsprozesses. Der TaC-Beschichtungsführungsring verfügt über eine Reihe von Eigenschaften, die ihn ideal für den Einsatz unter den extremen Bedingungen in der MOCVD-Reaktorkammer machen.**

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Waferfutter mit TaC-Beschichtung

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Semicorex TaC Coating Wafer Chuck gilt als Höhepunkt der Innovation im Halbleiterepitaxieprozess, einer kritischen Phase in der Halbleiterfertigung. Mit unserem Engagement, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen zu liefern, sind wir bereit, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.*

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MOCVD-Suszeptor mit TaC-Beschichtung

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CVD-TaC-beschichteter Ring

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Der CVD-TaC-beschichtete Ring von Semicorex ist eine entscheidende Komponente in der Halbleiterverarbeitung und symbolisiert den Höhepunkt der modernen Werkstofftechnik. Dieser Ring wurde für den Einsatz in den anspruchsvollsten Umgebungen entwickelt, in denen Präzision und Zuverlässigkeit an erster Stelle stehen. Er verkörpert die Verbindung modernster Beschichtungstechniken mit robuster Materialwissenschaft. Semicorex liefert stets erstklassige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen und wir freuen uns darauf, eine langjährige Partnerschaft mit Ihnen in China aufzubauen.*

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TaC-beschichteter Planetensuszeptor

TaC-beschichteter Planetensuszeptor

Der TaC-beschichtete Planetensuszeptor von Semicorex ist eine hochspezialisierte Komponente, die für den Einsatz in epitaktischen Prozessen der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Semicorex ist bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen zu liefern. Wir sind bestrebt, eine langfristige Partnerschaft mit Ihnen in China aufzubauen.*

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Führungsring mit Tantalkarbidbeschichtung

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Der Führungsring mit Tantalkarbid-Beschichtung von Semicorex ist eine fortschrittliche Komponente, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde und eine entscheidende Rolle beim Wachstum von Siliziumkarbid-Kristallen (SiC) spielt. Dieses Produkt wurde entwickelt, um die strengen Anforderungen von Hochtemperatur- und Hochspannungsumgebungen zu erfüllen, die bei Halbleiterkristallwachstumsprozessen auftreten. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.

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