TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) beschichtet wird.
Tantalcarbid (TaC) ist eine Verbindung, die aus Tantal und Kohlenstoff besteht. Es verfügt über metallische elektrische Leitfähigkeit und einen außergewöhnlich hohen Schmelzpunkt, was es zu einem feuerfesten Keramikmaterial macht, das für seine Festigkeit, Härte sowie Hitze- und Verschleißfestigkeit bekannt ist. Der Schmelzpunkt von Tantalkarbiden erreicht je nach Reinheit seinen Höhepunkt bei etwa 3880 °C und weist einen der höchsten Schmelzpunkte unter den binären Verbindungen auf. Dies macht es zu einer attraktiven Alternative, wenn höhere Temperaturanforderungen die Leistungsfähigkeit von Verbindungshalbleiter-Epitaxieprozessen wie MOCVD und LPE übersteigen.
Materialdaten der Semicorex TaC-Beschichtung
Projekte |
Parameter |
Dichte |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsgrad |
0.3 |
WAK (×10-6/K) |
6.3 |
Härte (HK) |
2000 |
Widerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische Stabilität |
<2500℃ |
Änderung der Graphitdimension |
-10~-20um (Referenzwert) |
Beschichtungsdicke |
≥20um typischer Wert (35um±10um) |
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Die oben genannten Werte sind typische Werte |
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Der Graphittiegel mit Tantalkarbidbeschichtung von Semicorex ist eine Spezialkomponente, die für den Einsatz in der Halbleiterindustrie, insbesondere für das Wachstum von Siliziumkarbidkristallen (SiC), entwickelt wurde. Dieser Hochleistungstiegel zeichnet sich durch seine einzigartige Materialzusammensetzung und sein strukturelles Design aus und macht ihn zu einem unverzichtbaren Werkzeug in fortgeschrittenen Kristallwachstumsprozessen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Tantalkarbidtiegel von Semicorex ist eine entscheidende Komponente in der Halbleiterindustrie und wurde speziell für das Wachstum von Siliziumkarbidkristallen (SiC) entwickelt. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Halbmondteil aus Tantalkarbid von Semicorex ist eine entscheidende Komponente, die im Halbleiterepitaxieprozess verwendet wird, einem kritischen Schritt bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDer TaC-Beschichtungstiegel von Semicorex hat sich zu einem unverzichtbaren Werkzeug bei der Suche nach hochwertigen Halbleiterkristallen entwickelt und ermöglicht Fortschritte in der Materialwissenschaft und Geräteleistung. Die einzigartige Kombination von Eigenschaften des TaC-Beschichtungstiegels macht ihn ideal für die anspruchsvollen Umgebungen von Kristallwachstumsprozessen geeignet und bietet deutliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Materialien.**
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex TaC-beschichtete Rohre stellen einen Höhepunkt der Materialwissenschaft dar und wurden entwickelt, um den extremen Bedingungen standzuhalten, die in der modernen Halbleiterfertigung auftreten. Das TaC-beschichtete Rohr entsteht durch Auftragen einer dichten, gleichmäßigen TaC-Schicht auf ein hochreines isotropes Graphitsubstrat mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) und bietet eine überzeugende Kombination von Eigenschaften, die herkömmliche Materialien in anspruchsvollen Hochtemperatur- und chemisch aggressiven Umgebungen übertreffen. **
WeiterlesenAnfrage absendenDer mit TaC beschichtete Halbmond von Semicorex bietet überzeugende Vorteile beim epitaktischen Wachstum von Siliziumkarbid (SiC) für Leistungselektronik und HF-Anwendungen. Diese Materialkombination adressiert kritische Herausforderungen in der SiC-Epitaxie und ermöglicht eine höhere Waferqualität, eine verbesserte Prozesseffizienz und reduzierte Herstellungskosten. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung hochleistungsfähiger TaC-beschichteter Halbmonde, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**
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