TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) beschichtet wird.
Tantalcarbid (TaC) ist eine Verbindung, die aus Tantal und Kohlenstoff besteht. Es verfügt über metallische elektrische Leitfähigkeit und einen außergewöhnlich hohen Schmelzpunkt, was es zu einem feuerfesten Keramikmaterial macht, das für seine Festigkeit, Härte sowie Hitze- und Verschleißfestigkeit bekannt ist. Der Schmelzpunkt von Tantalkarbiden erreicht je nach Reinheit seinen Höhepunkt bei etwa 3880 °C und weist einen der höchsten Schmelzpunkte unter den binären Verbindungen auf. Dies macht es zu einer attraktiven Alternative, wenn höhere Temperaturanforderungen die Leistungsfähigkeit von Verbindungshalbleiter-Epitaxieprozessen wie MOCVD und LPE übersteigen.
Materialdaten der Semicorex TaC-Beschichtung
Projekte |
Parameter |
Dichte |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsgrad |
0.3 |
WAK (×10-6/K) |
6.3 |
Härte (HK) |
2000 |
Widerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische Stabilität |
<2500℃ |
Änderung der Graphitdimension |
-10~-20um (Referenzwert) |
Beschichtungsdicke |
≥20um typischer Wert (35um±10um) |
|
|
Die oben genannten Werte sind typische Werte |
|
Das Tantal-Karbid-Spannfutter von Semicorex ist eine fortschrittliche Komponente, die in Halbleiterfertigungsanlagen verwendet wird und für ihre außergewöhnlichen thermischen und mechanischen Eigenschaften bekannt ist. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDer TaC-beschichtete Ring von Semicorex ist eine entscheidende Komponente, die diese anspruchsvollen Anforderungen erfüllt. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDer mit Semicorex TaC beschichtete Duschkopf ist ein wesentlicher Bestandteil des chemischen Gasphasenabscheidungsprozesses und bietet beispiellose Leistung und Langlebigkeit. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDas mit Semicorex TaC beschichtete Spannfutter stellt einen bedeutenden Fortschritt auf dem Gebiet der Halbleiterfertigung dar. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenPoröser Graphit von Semicorex mit TaC-Beschichtung ist ein spezielles Material, das für die Bewältigung kritischer Herausforderungen beim Wachstum von Siliziumkarbid-Kristallen (SiC) entwickelt wurde. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDer mit Tantalkarbid beschichtete poröse Graphit von Semicorex ist die neueste Innovation in der Siliziumkarbid-Kristallwachstumstechnologie (SiC). Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absenden