TaC-beschichteter Impfkristallhalter

Der mit TaC beschichtete Impfkristallhalter ist eine Hochleistungskomponente, die speziell für die Wachstumsumgebung von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Als führender Hersteller von TTaC-beschichteten Impfkristallhaltern bietet semicorex Ihnen effiziente Kernkomponentenlösungen im Bereich der High-End-Halbleiterfertigung.

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Produktbeschreibung

Das Substrat vonTaC-beschichtetDer Impfkristallhalter besteht normalerweise aus Graphit, Siliziumkarbid oder Kohlenstoff/Kohlenstoff-Verbundwerkstoffen. Anschließend wird durch fortschrittliche chemische Gasphasenabscheidung (CVD) bei ultrahohen Temperaturen eine TaC-Beschichtung auf seine Oberfläche aufgebracht. Der mit dieser Methode hergestellte TaC-beschichtete Impfkristallhalter weist eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, hervorragende mechanische Festigkeit, gute Hochtemperaturbeständigkeit und effiziente Wärmeleitfähigkeit auf.

Die Funktion des TaC-beschichteten Impfkristallhalters

1.Unterstützungsfunktion

Der TaC-beschichtete Impfkristallhalter von Semicorex bietet eine stabile Stützplattform für Impfkristalle und garantiert, dass der Impfkristall unter schwierigen Bedingungen wie hohen Temperaturen und hohem Vakuum eine feste Position beibehält. Dies verhindert effektiv Probleme wie Kristallverschiebungen oder Schäden durch Vibrationen und Luftströmungen und gewährleistet so die Kontinuität und Stabilität des Kristallwachstums.

2. Schutzwirkung

Der TaC-beschichtete Impfkristallhalter ist über dem Graphittiegeldeckel installiert und isoliert den Graphitdeckel vom Hochtemperatur-Si-Dampf. Dadurch wird dampfbedingte Korrosion wirksam vermieden und die Lebensdauer des Graphitdeckels verlängert. Darüber hinaus trägt die inhärente chemische Stabilität und thermische Temperaturbeständigkeit der TaC-Beschichtung dazu bei, das Eindringen von Verunreinigungen zu verringern und eine stabile und saubere Umgebung für das Wachstum von Impfkristallen zu schaffen.

3. Temperaturregelung

Der TaC-beschichtete Impfkristallhalter von Semicorex nutzt Fertigungstechniken, die zu den Spitzenreitern der Branche gehören. Eine präzise Temperaturkontrolle des Wärmefeldes kann durch fachmännische Optimierung ihrer Form, Abmessungen und Beschichtungsdicke erreicht werden. Dadurch wird die Defektrate erheblich gesenkt und ein gleichmäßiges Kristallwachstum effizient gefördert.