Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Das SiC-Vakuumspannfutter von Semicorex stellt ein Höchstmaß an Präzisionstechnik dar, das auf die anspruchsvolle Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Dieses innovative Gerät besteht aus Graphitsubstraten und wird durch modernste CVD-Techniken (Chemical Vapour Deposition) verbessert. Es integriert nahtlos die unvergleichlichen Eigenschaften der Siliziumkarbid-Beschichtung (SiC). Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC Wafer Chuck gilt als Spitzenreiter der Innovation in der Halbleiterfertigung und dient als entscheidende Komponente im komplexen Prozess der Halbleiterfertigung. Dieses mit größter Präzision und modernster Technologie gefertigte Spannfutter spielt eine unverzichtbare Rolle bei der Unterstützung und Stabilisierung von Siliziumkarbid-Wafern (SiC) in verschiedenen Produktionsphasen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex Zirconia ZrO2-Roboterarm ist eine wichtige Komponente in der Halbleiterverarbeitung für den nahtlosen Transfer und die Handhabung von Wafern. Dieser Keramikarm wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen von Hochtemperatur-, Korrosions- und Schleifumgebungen standzuhalten, und zeichnet sich durch beispiellose Haltbarkeit und Zuverlässigkeit aus. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDie mit viel Liebe zum Detail gefertigte Semicorex-Zirkonoxid-Keramikdüse ist der Inbegriff für herausragende Leistung bei der Steuerung der Durchflussrate von Gasen und Flüssigkeiten mit beispielloser Gleichmäßigkeit und Präzision. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Semicorex-Aluminiumnitrid-Keramikfutter stellt eine hochmoderne Lösung für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung dar, die speziell dafür entwickelt wurde, Wafer in verschiedenen Phasen der Herstellung sicher an Ort und Stelle zu halten. Dieses innovative Gerät fungiert als elektrostatischer Chuck (ESC) und nutzt die außergewöhnlichen Eigenschaften der Aluminiumnitrid-Keramik, um eine präzise und zuverlässige Wafer-Haltung zu gewährleisten. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenSie können sicher sein, dass Sie einen Aluminiumnitrid-Waferhalter in unserer Fabrik kaufen. Der Semicorex-Waferhalter aus Aluminiumnitrid (AlN) ist eine unverzichtbare Komponente im Bereich der Halbleiterverarbeitung und dient als zentrale Plattform für die sichere Halterung empfindlicher Wafer in verschiedenen Phasen der Herstellung. Hergestellt aus hochwertigem Aluminiumnitrid-Material, das für seine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, mechanische Festigkeit und elektrischen Isolationseigenschaften bekannt ist, gewährleistet dieser Waferhalter optimale Bedingungen für präzise und effiziente Halbleiterfertigungsprozesse. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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