Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Das Semicorex SiC (Siliziumkarbid) Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition) bei Prozessen wie Diffusion und RTP (Rapid Thermal Processing). Das SiC Cantilever Paddle soll Halbleiterwafer während verschiedener Hochtemperaturprozesse wie Diffusion und RTP sicher im Prozessrohr transportieren. Es dient der Lagerung und dem Transport von Wafern im Prozessrohr dieser Öfen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas vertikale Waferboot von Semicorex stellt eine entscheidende Komponente in der Halbleiterverarbeitung dar und dient der sicheren Unterbringung und dem Transport empfindlicher Siliziumwafer in verschiedenen Phasen der Herstellung. Hergestellt aus Siliziumkarbid (SiC), einem robusten und thermisch stabilen Material, das für seine außergewöhnlichen Eigenschaften in rauen Umgebungen bekannt ist, gewährleisten diese Boote die Integrität und Sicherheit der Wafer während der Verarbeitung. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDie Semicorex SiC Wafer Transfer Hand ist ein Eckpfeiler der Automatisierung im Halbleiterfertigungsprozess und dient als hochentwickeltes Roboterwerkzeug für die präzise und effiziente Handhabung von Halbleiterwafern. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex SiC-Finger ist eine entscheidende Komponente in der Halbleiterverarbeitung und dient als Wafer-Transfer-Werkzeug. Dieses Spezialgerät hat die Form eines Fingers und ist sorgfältig aus Siliziumkarbid (SiC) gefertigt, einem Material, das für seine außergewöhnliche mechanische Festigkeit, thermische Stabilität und Beständigkeit gegenüber rauen chemischen Umgebungen bekannt ist. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Semicorex-Siliziumkarbid-Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente im Bereich der Halbleiterfertigung und wurde speziell für den Einsatz in vertikalen Öfen entwickelt, die in verschiedenen Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion eingesetzt werden. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDie Semicorex-Roboterhand, eine zentrale Komponente im MOCVD-Ofen (Metal Organic Chemical Vapour Deposition), ist ein Beweis für Präzisionstechnik und fortschrittliche Materialwissenschaft. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absenden