Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Waferboote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Semicorex-Siliziumnitridlager stellen den Gipfel der technischen Exzellenz dar und bieten beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit in einer Vielzahl industrieller Anwendungen. Siliziumnitrid-Lager sind für ihre außergewöhnliche Festigkeit, Haltbarkeit und Vielseitigkeit bekannt und haben sich in verschiedenen Branchen, von der Luft- und Raumfahrt über die Automobilindustrie bis hin zur Medizintechnik und Fertigung, zur bevorzugten Wahl entwickelt. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDie Siliziumnitridscheibe von Semicorex stellt einen Höhepunkt materialwissenschaftlicher Innovation dar und vereint die außergewöhnlichen Eigenschaften von Silizium und Stickstoff in einer vielseitigen und robusten scheibenförmigen Form. Diese durch fortschrittliche Herstellungsverfahren hergestellte Siliziumnitridscheibe verkörpert hohe thermische Stabilität, überlegene mechanische Festigkeit, bemerkenswerte Verschleißfestigkeit und ausgezeichnete chemische Inertheit. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Semicorex Alumina Chuck gilt als Eckpfeiler der Halbleiterverarbeitung und wird sorgfältig aus Aluminiumoxidkeramik gefertigt. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Aluminiumoxid-Plattenflansche stellen ein Höchstmaß an Vielseitigkeit und Leistung in der Keramiktechnik dar. Dieser Flansch besteht aus Aluminiumoxidkeramik, einem Material, das für seine außergewöhnlichen Eigenschaften bekannt ist, und verkörpert eine perfekte Kombination aus Robustheit, hoher Temperaturbeständigkeit und elektrischer Leitfähigkeit. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Semicorex-Diffusionsofenrohr ist eine entscheidende Komponente in Halbleiterfertigungsanlagen und wurde speziell entwickelt, um präzise und kontrollierte Reaktionen zu ermöglichen, die für Halbleiterfertigungsprozesse unerlässlich sind. Als Primärgefäß innerhalb der Reaktionszone eines Halbleiterofens spielt das Diffusionsofenrohr eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Integrität und Qualität der hergestellten Halbleiterbauelemente. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC (Siliziumkarbid) Prozessrohrauskleidungen sind entscheidende Komponenten bei der Produktion von Halbleitern in Umgebungen, die hohe Temperaturen und ein hohes Maß an Reinheit erfordern. Diese SiC-Prozessrohrauskleidungen wurden speziell dafür entwickelt, extremen thermischen Bedingungen standzuhalten und einen hohen Reinheitsgrad aufrechtzuerhalten, um sicherzustellen, dass der Halbleiterherstellungsprozess nicht beeinträchtigt wird. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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