Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Halbleiterkomponenten liefern. Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-beschichtete Bauteile sind für Prozesse in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Graphit-Verbrauchsmaterialien für Kristallzüchtungs-Heißzonen (Heizungen, Tiegel-Suszeptoren, Isolierung) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten für Wafer-Verarbeitungsanlagen, wie beispielsweise mit Siliziumkarbid beschichteten Graphit-Suszeptoren für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert hochreine, mit Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktionen, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bieten.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Endeffektor →
Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Der Semicorex SiC-Heizfaden ist ein mit Siliziumkarbid beschichteter Graphitheizer, der für die Wafererwärmung in der modernen Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, entscheiden Sie sich für einen vertrauenswürdigen Partner, der hochreine Materialien, präzise Anpassungen und langlebige Leistung für die anspruchsvollsten thermischen Prozesse liefert.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex-Siliziumkarbid-Spannfutter wurden speziell für Fotolithografiegeräte entwickelt und bieten zahlreiche Vorteile wie hohe Präzision, ultraleichtes Gewicht, hohe Steifigkeit, niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und hervorragende Verschleißfestigkeit.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC-Ofenrohre sind hochreine Siliziumkarbidrohre, die mit fortschrittlicher 3D-Drucktechnologie hergestellt werden und für Hochtemperatur-Photovoltaikprozesse konzipiert sind. Semicorex liefert hochmoderne SiC-Lösungen mit überragender Festigkeit, Stabilität und Zuverlässigkeit, denen die Solarindustrie weltweit vertraut.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC-Paddel sind Auslegerarme aus hochreinem Siliziumkarbid, die für den Wafertransport in Hochtemperatur-Oxidations- und Diffusionsöfen über 1000 °C konzipiert sind. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, können Sie eine außergewöhnliche Materialqualität, Präzisionstechnik und langfristige Zuverlässigkeit sicherstellen, auf die führende Halbleiterfabriken vertrauen.*
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex SiC Focus Ring ist eine Ringkomponente aus hochreinem Siliziumkarbid, die zur Optimierung der Plasmaverteilung und der Gleichmäßigkeit des Waferprozesses in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, können Sie gleichbleibende Qualität, fortschrittliche Materialtechnik und zuverlässige Leistung sicherstellen, auf die führende Halbleiterfabriken weltweit vertrauen.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex Wafer Edge Mahling Chuck ist eine Keramikscheibe aus weißen Alumina mit hoher Purity, die zum Mahlen von Waferkanten in der Semiconductor-Herstellung ausgelegt ist. Die Auswahl von Semicorex sorgt für überlegene Materialqualität, Präzisionstechnik und zuverlässige Leistung, die die anspruchsvollsten Waferverarbeitungsumgebungen unterstützen.*
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