Silikon-Kassettenboote

Semicorex-Siliziumkassettenboote sind spezielle Träger, die zu 99,9999999 % aus hochreinem monokristallinem und polykristallinem Silizium hergestellt werden und sich insbesondere auf die Herstellung von Hochleistungshalbleitern konzentrieren. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, profitieren Sie von zuverlässiger Qualität, kundenspezifischen Dienstleistungen und erhöhter Produktivität.

Anfrage absenden

Produktbeschreibung

Ihre Materialien haben die gleiche chemische Zusammensetzung wie Trägerwafer und minimieren so unerwünschte Verunreinigungsionen bei Hochtemperaturprozessen.

1.Ultra-geringe Verunreinigungskontamination:

Ihre Materialien haben die gleiche chemische Zusammensetzung wie Trägerwafer und minimieren so unerwünschte Verunreinigungsionen bei Hochtemperaturprozessen.

2. Hervorragende thermische Stabilität:

Sie sind in der Lage, einer Verformung standzuhalten und einen präzisen Abstand bei längerer Hochtemperatureinwirkung (ca. 1250 °C) beizubehalten, wodurch sie eine stabile Trägerplattform für Wafer bieten.

3. Hervorragende mechanische Eigenschaften:

Sie sind stoßfester und weniger anfällig für Brüche beim Be- und Entladen als Quarzboote.

4. Lange Lebensdauer:

Ohne Oberflächenbeschichtung lösen sich ihre Oberflächenmaterialien nicht ab, selbst wenn sie längere Zeit anspruchsvollen Umgebungen mit hohen Temperaturen ausgesetzt sind.

Semicorex-SiliziumKassettenbootesind kleine Wafer-Träger- und Transferträger, die mit 4-Zoll- und 6-Zoll-Horizontal-Hochtemperaturöfen kompatibel sind. Das integrierte Strukturdesign vermeidet Spleißspalte und Strukturschwächen an den Verbindungsstellen und reduziert so das Risiko von Rissen durch mechanische Einwirkung, chemische Korrosion oder thermische Belastung erheblich. Siliziumkassettenschiffchen sind gut kompatibel mit Hochtemperaturbehandlungsverfahren wie Oxidation, Diffusion, Glühen und Hochtemperaturreinigung, was zum großen Teil auf die hochmoderne Verarbeitungstechnologie von Semicorex zurückzuführen ist.

Semicorex-Siliziumkassettenboote unterstützen hochwertige kundenspezifische Anpassungen für unsere geschätzten Kunden, einschließlich Aspekten wie Nutstangenform, Nutzahnlänge, Profil, Neigungswinkel und Gesamtkapazität der Waferbeladung. Dieses maßgeschneiderte Design garantiert, dass die Wafer präzise in festen Abständen innerhalb der Silizium-Kassettenschiffchen angeordnet sind, wodurch Positionsabweichungen und ungleichmäßige Erwärmung während der Verarbeitung effektiv gemildert werden und dadurch eine Beeinträchtigung der elektrischen Leistung des Chips oder sogar ein kompletter Chipausfall verhindert wird. Um sicherzustellen, dass Kunden qualitativ hochwertige Produkte erhalten, müssen die Silikon-Kassettenboote von Semicorex strenge Qualitätsprüfungen bestehen, einschließlich Maßhaltigkeit, Materialeigenschaften, Oberflächenebenheit, Gesamtsauberkeit und Eigenspannung.