SiC-Prozessrohre

Semicorex SiC-Prozessrohre sind wichtige Strukturkomponenten bei Oxidation, Diffusion und RTA/RTP im Halbleiterherstellungsprozess. Im Allgemeinen handelt es sich um ein Rohr mit großem Durchmesser als Reaktorofenraum, in dem alle chemischen Prozesse stattfinden. Daher sind die Festigkeit und die Temperaturwechselbeständigkeit beide sehr grundlegende Punkte für das Produkt.

Die SiC-Prozessrohre werden von hergestelltgesintertes SiliziumkarbidEs kann sich um SiSiC, SSiC oder RSiC handeln, und die CVD-SiC-Beschichtung auf der Oberfläche bildet eine ultrahochreine Schicht. Es kann die Verschmutzung durch Partikel, Asche usw. verhindern. Und das Material weist eine sehr hohe Temperaturwechselbeständigkeit auf, so dass die SiC-Prozessrohre eine stabile Hochtemperaturbeständigkeit aufweisen und verhindert, dass Verunreinigungen bei hohen Temperaturen ausfallen und somit die Umwelt verschmutzen.

Diese SiC-Prozessrohre sind für den Einsatz in Atmosphären mit reaktivem Gas (Sauerstoff), Schutzgas (Stickstoff) und minimalen Mengen an Chlorwasserstoffgas konzipiert und bieten hervorragende chemische Beständigkeit, thermische Stabilität und Materialreinheit bis 1250 °C. Die Semicorex SiC-Prozessrohre kombinieren modernste 3D-Druck-Herstellung mit chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)-Beschichtung, um eine überlegene Leistung und Lebensdauer unter extremsten thermischen und chemischen Bedingungen zu bieten.

Die Semicorex SiC-Prozessrohre werden über einen integrierten 3D-Druckformprozess und nicht über ein herkömmliches pressgeformtes oder zusammengebautes Rohr hergestellt. Dieser Herstellungsprozess ermöglicht eine kontinuierliche, konsistente Struktur der Keramik ohne Fugen und Schwachstellen und sorgt so für ein hohes Maß an Komplexität und Maßhaltigkeit, wodurch Spannungskonzentrationen gemindert und gleichzeitig die mechanische Festigkeit erhöht werden kann. Darüber hinaus sorgt die monolithische Struktur für eine erdgasdichte Abdichtung und reduziert so Verunreinigungen und Leckagen bei Hochtemperaturprozessen.

DerSiCDer Körper besteht aus einem Material mit extrem geringer Verunreinigung (< 300 ppm), das eine hervorragende Materialreinheit und Stabilität für reaktive Atmosphären bietet. Darüber hinaus ist das Rohr mit einer CVD-Siliziumkarbidschicht (< 5 ppm) beschichtet, um die Korrosionsbeständigkeit und den Oberflächenschutz zu verbessern.

Semicorex bietet den maßgeschneiderten Service: Wir können nach Kundenzeichnungen produzieren, um die erforderlichen Spezifikationen zu erfüllen. Daher können Semicorex-SiC-Prozessrohre alternativ nicht nur für Horizontalöfen, sondern auch für Vertikalöfen geeignet sein.