Heim > Produkte > Halbleiterkomponenten

China Halbleiterkomponenten Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Halbleiterkomponenten liefern. Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.

Hochreine SiC-beschichtete Bauteile sind für Prozesse in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Graphit-Verbrauchsmaterialien für Kristallzüchtungs-Heißzonen (Heizungen, Tiegel-Suszeptoren, Isolierung) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten für Wafer-Verarbeitungsanlagen, wie beispielsweise mit Siliziumkarbid beschichteten Graphit-Suszeptoren für Epitaxie oder MOCVD.


Vorteile für Halbleiterprozesse

Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert hochreine, mit Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktionen, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bieten.


Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.


Endeffektor →
Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt.


Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.


Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.


Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.





View as  
 
Boot mit Silikonsockel

Boot mit Silikonsockel

Semicorex Silicon Pedestal Boat ist ein hochreiner 9N-Waferträger, der für die präzise und stabile Waferunterstützung bei Hochtemperaturoxidations-, Diffusions- und LPCVD-Prozessen entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex für unübertroffene Materialreinheit, Präzisionsbearbeitung und bewährte Zuverlässigkeit*

WeiterlesenAnfrage absenden
Silizium-Injektor

Silizium-Injektor

Der Semicorex-Siliziuminjektor ist eine hochreine röhrenförmige Komponente, die für eine präzise und kontaminationsfreie Gaszufuhr in LPCVD-Polysiliziumabscheidungsprozessen entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex für branchenführende Reinheit, Präzisionsbearbeitung und bewährte Zuverlässigkeit.*

WeiterlesenAnfrage absenden
Silizium-Wafer-Boot

Silizium-Wafer-Boot

Semicorex Silicon Wafer Boat ist ein hochreiner Träger, der für Halbleiter-Hochtemperaturöfen entwickelt wurde und Wafer während Oxidations- und Reduktionsprozessen bei 1200–1250 °C unterstützt. Semicorex bietet erstklassige Produkte, ultrareine Leistung und zuverlässige Ergebnisse, die den Geräteertrag direkt steigern.*

WeiterlesenAnfrage absenden
Silikon-Schutzring

Silikon-Schutzring

Der Semicorex Silicon Shield Ring ist eine hochreine Siliziumkomponente, die für fortschrittliche Plasmaätzsysteme entwickelt wurde und sowohl als Schutzschild als auch als Hilfselektrode dient. Semicorex gewährleistet ultrasaubere Leistung, Prozessstabilität und hervorragende Ätzergebnisse mit präzisionsgefertigten Halbleiterkomponenten.*

WeiterlesenAnfrage absenden
SiC-Keramikpaddel

SiC-Keramikpaddel

Das SiC-Keramikpaddel von Semicorex ist eine hochreine freitragende Komponente, die für Halbleiter-Hochtemperaturöfen entwickelt wurde und hauptsächlich in Oxidations- und Diffusionsprozessen eingesetzt wird. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, erhalten Sie Zugang zu fortschrittlichen Keramiklösungen, die außergewöhnliche Stabilität, Sauberkeit und Haltbarkeit für kritische Wafer-Handhabungsanwendungen gewährleisten.*

WeiterlesenAnfrage absenden
SiC-beschichtete Halbmondteile

SiC-beschichtete Halbmondteile

Semicorex SiC-beschichtete Halbmondteile sind präzisionsgefertigte Komponenten, die als wesentliche Elemente von Epitaxiegeräten konzipiert sind und bei denen sich zwei halbmondförmige Abschnitte zu einer vollständigen Kernbaugruppe verbinden. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, sichern Sie sich zuverlässige, hochreine und langlebige Lösungen, die eine stabile Waferunterstützung und effiziente Wärmeleitung für die fortschrittliche Halbleiterfertigung gewährleisten.*

WeiterlesenAnfrage absenden
Semicorex produziert seit vielen Jahren Halbleiterkomponenten und ist einer der professionellen Halbleiterkomponenten Hersteller und Lieferanten in China. Sobald Sie unsere fortschrittlichen und langlebigen Produkte kaufen, die in Großpackungen geliefert werden, garantieren wir die große Menge in schneller Lieferung. Im Laufe der Jahre haben wir unseren Kunden einen maßgeschneiderten Service geboten. Kunden sind mit unseren Produkten und unserem exzellenten Service zufrieden. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr zuverlässiger langfristiger Geschäftspartner zu werden! Willkommen, um Produkte aus unserer Fabrik zu kaufen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept