Als professioneller Hersteller möchten wir Ihnen Halbleiterkomponenten liefern. Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-beschichtete Bauteile sind für Prozesse in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Graphit-Verbrauchsmaterialien für Kristallzüchtungs-Heißzonen (Heizungen, Tiegel-Suszeptoren, Isolierung) bis hin zu hochpräzisen Graphitkomponenten für Wafer-Verarbeitungsanlagen, wie beispielsweise mit Siliziumkarbid beschichteten Graphit-Suszeptoren für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert hochreine, mit Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitkonstruktionen, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bieten.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Endeffektor →
Der Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex Silicon Pedestal Boat ist ein hochreiner 9N-Waferträger, der für die präzise und stabile Waferunterstützung bei Hochtemperaturoxidations-, Diffusions- und LPCVD-Prozessen entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex für unübertroffene Materialreinheit, Präzisionsbearbeitung und bewährte Zuverlässigkeit*
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex-Siliziuminjektor ist eine hochreine röhrenförmige Komponente, die für eine präzise und kontaminationsfreie Gaszufuhr in LPCVD-Polysiliziumabscheidungsprozessen entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex für branchenführende Reinheit, Präzisionsbearbeitung und bewährte Zuverlässigkeit.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex Silicon Wafer Boat ist ein hochreiner Träger, der für Halbleiter-Hochtemperaturöfen entwickelt wurde und Wafer während Oxidations- und Reduktionsprozessen bei 1200–1250 °C unterstützt. Semicorex bietet erstklassige Produkte, ultrareine Leistung und zuverlässige Ergebnisse, die den Geräteertrag direkt steigern.*
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex Silicon Shield Ring ist eine hochreine Siliziumkomponente, die für fortschrittliche Plasmaätzsysteme entwickelt wurde und sowohl als Schutzschild als auch als Hilfselektrode dient. Semicorex gewährleistet ultrasaubere Leistung, Prozessstabilität und hervorragende Ätzergebnisse mit präzisionsgefertigten Halbleiterkomponenten.*
WeiterlesenAnfrage absendenDas SiC-Keramikpaddel von Semicorex ist eine hochreine freitragende Komponente, die für Halbleiter-Hochtemperaturöfen entwickelt wurde und hauptsächlich in Oxidations- und Diffusionsprozessen eingesetzt wird. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, erhalten Sie Zugang zu fortschrittlichen Keramiklösungen, die außergewöhnliche Stabilität, Sauberkeit und Haltbarkeit für kritische Wafer-Handhabungsanwendungen gewährleisten.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC-beschichtete Halbmondteile sind präzisionsgefertigte Komponenten, die als wesentliche Elemente von Epitaxiegeräten konzipiert sind und bei denen sich zwei halbmondförmige Abschnitte zu einer vollständigen Kernbaugruppe verbinden. Wenn Sie sich für Semicorex entscheiden, sichern Sie sich zuverlässige, hochreine und langlebige Lösungen, die eine stabile Waferunterstützung und effiziente Wärmeleitung für die fortschrittliche Halbleiterfertigung gewährleisten.*
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