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Wafer-Vakuum-Chuck

Wafer-Vakuum-Chuck

Die ultrareinen Keramikkomponenten von Semicorex sind perfekt für Lithographie- und Wafer-Handhabungsanwendungen der nächsten Generation geeignet und gewährleisten minimale Kontamination und bieten eine außergewöhnlich lange Lebensdauer. Unsere Wafer-Vakuum-Chucks haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der ultraflache Keramik-Wafer-Vakuum-Chuck von Semicorex ist mit hochreinem SiC beschichtet, das im Wafer-Handhabungsprozess verwendet wird. Halbleiter-Wafer-Vakuum-Chuck durch MOCVD-Ausrüstung Das Verbundwachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, die eine große Stabilität in extremen Umgebungen aufweist und das Ertragsmanagement für die Halbleiterwafer-Verarbeitung verbessert. Konfigurationen mit geringem Oberflächenkontakt minimieren das Risiko von Rückseitenpartikeln für empfindliche Anwendungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger Wafer-Vakuum-Chucks, priorisieren die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des Wafer-Vakuum-Chucks

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des Wafer-Vakuumspannfutters

â Ultraflache Funktionen

â Hochglanzpoliert

â Außergewöhnlich geringes Gewicht

â Hohe Steifigkeit

â Geringe thermische Ausdehnung

â Φ 300 mm Durchmesser und mehr

â Extreme Verschleißfestigkeit




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