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SiC-beschichtete Waferheizung
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SiC-beschichtete Waferheizung

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit, präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit, der sich auf die Bereiche Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP in der Halbleiterfertigung konzentriert. Unsere SiC-beschichteten Waferheizer haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex SiC Coated Wafer Heater kann im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre und 2200 °C im Vakuum betrieben werden. Der hochreine SiC-beschichtete Wafer-Heizer bietet überlegene Wärmebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konsistente Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit. Eine feine SiC-Kristallbeschichtung sorgt für eine saubere, glatte Oberfläche, die für die Handhabung entscheidend ist, da makellose Wafer den Suszeptor an vielen Punkten über ihre gesamte Fläche berühren.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger SiC-beschichteter Waferheizer, wir legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter der SiC-beschichteten Waferheizung

Technische Spezifikation

VET-M3

Schüttdichte (g/cm3)

â¥1,85

Aschegehalt (PPM)

â¤500

Shore-Härte

â¥45

Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m)

â¤12

Biegefestigkeit (Mpa)

â¥40

Druckfestigkeit (Mpa)

â¥70

max. Körnung (μm)

â¤43

Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C

â¤4.4*10-6


Merkmale der SiC-beschichteten Waferheizung

- Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
- Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
- Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
- Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
- Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.




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