SiC-beschichtete Waferheizung

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit und präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit mit Schwerpunkt auf den Bereichen Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP der Halbleiterfertigung. Unser SiC-beschichteter Waferheizer hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex SiC-beschichtete Waferheizer kann im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre und 2200 °C im Vakuum betrieben werden. Der hochreine SiC-beschichtete Waferheizer bietet eine hervorragende Hitzebeständigkeit, eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit. Die feine SiC-Kristallbeschichtung sorgt für eine saubere, glatte Oberfläche, was für die Handhabung von entscheidender Bedeutung ist, da makellose Wafer den Suszeptor an vielen Stellen über ihre gesamte Fläche berühren.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger SiC-beschichteter Wafer-Heizgeräte. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter der SiC-beschichteten Waferheizung

Technische Spezifikation	VET-M3
Schüttdichte (g/cm3)	≥1,85
Aschegehalt (PPM)	≤500
Shore-Härte	≥45
Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m)	≤12
Biegefestigkeit (Mpa)	≥40
Druckfestigkeit (Mpa)	≥70
Max. Korngröße (μm)	≤43
Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C	≤4,4*10-6

Merkmale der SiC-beschichteten Waferheizung

- Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
- Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
- Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
- Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
- Das Material ist so konzipiert, dass es nicht zu Rissen und Delaminationen kommt.