Silizium-Wafer-Heizung

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichtetem Graphit in China. Wir liefern Heizungen, Stütztiegel, Hitzeschilde und isolierende Komponenten für Einkristall-Züchtungsprozesse und -materialien. Wir konzentrieren uns auf die Halbleiterindustrie, unser Silicon Wafer Heater hat einen guten Preisvorteil und deckt viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex-Siliziumwaferheizer ist mit MOCVD beschichtetes Siliziumkarbid, das im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre und 2200 °C im Vakuum betrieben werden kann. Die SiC-Beschichtung ist eine dichte, verschleißfeste Beschichtung aus Siliziumkarbid (SiC).
Unsere Silizium-Wafer-Heizung hat hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit. SiC tragen wir im CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser Silicon Wafer Heater hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter der Siliziumwaferheizung

Technische Spezifikation	VET-M3
Schüttdichte (g/cm3)	â¥1,85
Aschegehalt (PPM)	â¤500
Shore-Härte	â¥45
Spezifischer Widerstand (Î¼.Î©.m)	â¤12
Biegefestigkeit (Mpa)	â¥40
Druckfestigkeit (Mpa)	â¥70
max. Körnung (Î¼m)	â¤43
Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C	â¤4.4*10-6

Merkmale der Siliziumwaferheizung

- Siliziumkarbidbeschichtungen verwendeten das CVD-Verfahren, um die Lebensdauer zu verbessern.
- Wärmeisolierung aus hochleistungsfähigem, gereinigtem Hartkohlenstoff.
- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.
- Hochreine Graphit- und SiC-Beschichtung für Pinhole-Resistenz und längere Lebensdauer

Wir können Antioxidationsmittel und Graphittiegel mit langer Lebensdauer, Graphitformen und alle Teile des Graphitheizers liefern.