Wafer-Prozessheizung

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichteten Graphitsuszeptoren in China. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unser Wafer-Prozesserhitzer hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex-Wafer-Prozesserhitzer wird aus Graphit mit Siliziumkarbidbeschichtung (SiC) hergestellt. Die Beschichtung wird durch ein CVD-Verfahren auf bestimmte Sorten hochdichten Graphits aufgetragen, sodass er im Hochtemperaturofen mit über 3000 °C in einer inerten Atmosphäre betrieben werden kann. 2200°C im Vakuum.
Die besonderen Eigenschaften und die geringe Masse des Wafer Process Heater-Materials ermöglichen schnelle Aufheizraten, eine gleichmäßige Temperaturverteilung und eine hervorragende Präzision bei der Steuerung. Im Vergleich zu anderen Materialien bleibt die Oberfläche von Siliziumkarbid aufgrund seiner geringen Wärmeausdehnung auch bei Betrieb mit schnellen Temperaturänderungen flach. Die Heizplatten eignen sich sehr gut für anspruchsvolle Prozesse in Halbleiterverarbeitungsanlagen.
Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser Wafer Process Heater hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter der Wafer-Prozessheizung

Technische Spezifikation	VET-M3
Schüttdichte (g/cm3)	≥1,85
Aschegehalt (PPM)	≤500
Shore-Härte	≥45
Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m)	≤12
Biegefestigkeit (Mpa)	≥40
Druckfestigkeit (Mpa)	≥70
Max. Korngröße (μm)	≤43
Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C	≤4,4*10-6

Merkmale des Wafer-Prozesserhitzers

- CVD-SiC-Beschichtungen zur Verbesserung der Lebensdauer.
- Hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und lange Lebensdauer können die Waferqualität und -ausbeute verbessern.
- Es verfügt über einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, eine hohe Temperaturbeständigkeit, eine hohe Verschleißfestigkeit, eine gute Isolierung, eine gute chemische Stabilität und eine nahezu violette (rote) Durchdringung des sichtbaren Lichts.

Wir können Antioxidations- und langlebige Graphittiegel, Graphitformen und alle Teile der Graphitheizung liefern.