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Endeffektor aus Keramik

Endeffektor aus Keramik

Semicorex ist Ihr Partner für fortschrittliche Graphitkomponenten und -baugruppen, um einen höheren Durchsatz und eine bessere Ausbeute in Ihren Halbleiterverarbeitungsanlagen zu unterstützen. Unsere Materialexperten sind bereit, mit Ihnen zusammenzuarbeiten, um die optimale Lösung für Ihre Waferhandhabungs-, Erwärmungs- und Verarbeitungsanforderungen zu entwickeln. Unser Keramik-Endeffektor hat einen guten Preisvorteil und deckt viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Ceramic End Effector ist die Roboterhand, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsanlagen und Trägern bewegt. Der Endeffektor muss maßgenau und thermisch stabil sein und gleichzeitig eine glatte, abriebfeste Oberfläche haben, um Wafer sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelkontamination zu erzeugen. Unser hochreiner Siliziumkarbid-Keramik-Endeffektor bietet eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine konsistente Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung qualitativ hochwertiger, kostengünstiger Keramik-Endeffektoren, legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des keramischen Endeffektors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des hochreinen Keramik-Endeffektors

â Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

â Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

â Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

â Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

â Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.




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