Keramischer Endeffektor

Semicorex ist Ihr Partner für fortschrittliche Graphitkomponenten und -baugruppen, um einen höheren Durchsatz und bessere Erträge in Ihren Halbleiterverarbeitungsanlagen zu unterstützen. Unsere Materialexperten sind bereit, mit Ihnen zusammenzuarbeiten, um die optimale Lösung für Ihre Anforderungen an die Handhabung, Erwärmung und Verarbeitung von Wafern zu entwickeln. Unser Keramik-Endeffektor hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Keramik-Endeffektor ist die Hand des Roboters, die Halbleiterwafer zwischen Positionen in Waferverarbeitungsgeräten und Trägern bewegt. Der Endeffektor muss maßgenau und thermisch stabil sein und gleichzeitig über eine glatte, abriebfeste Oberfläche verfügen, um Wafer sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelverunreinigungen zu erzeugen. Unsere hochreinen Siliziumkarbid-Keramik-Endeffektoren bieten eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine dauerhafte chemische Beständigkeit.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger Keramik-Endeffektoren. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter des Keramik-Endeffektors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300