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Waferboot für den Halbleiterprozess
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Waferboot für den Halbleiterprozess

Semicorex bietet Waferboote, Sockel und kundenspezifische Waferträger für vertikale/Säulen- und horizontale Konfigurationen an. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Beschichtungsfilmen aus Siliziumkarbid. Unser Waferboot für den Halbleiterprozess hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex SiC-Waferboot für den Halbleiterprozess, die ultimative Lösung für die Handhabung und den Schutz von Wafern in der Halbleiterfertigung. Unser Waferboot für den Halbleiterprozess besteht aus hochwertigem Siliziumkarbid, das eine gute Korrosionsbeständigkeit und eine hervorragende Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Thermoschocks aufweist. Fortschrittliche Keramiken bieten eine hervorragende Wärmebeständigkeit und Plasmabeständigkeit und mindern gleichzeitig Partikel und Verunreinigungen für Waferträger mit hoher Kapazität.


Parameter des Waferboots für den Halbleiterprozess

Technische Eigenschaften

Index

Einheit

Wert

Material Name

Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid

Drucklos gesintertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Komposition

RBSiC

SSiC

R-SiC

Schüttdichte

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Biegefestigkeit

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

Druckfestigkeit

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Härte

Knoop

2700

2800

/

Hartnäckigkeit brechen

MPa·m1/2

4.5

4

/

Wärmeleitfähigkeit

W/m.k

95

120

23

Der Wärmeausdehnungskoeffizient

10-6.1/°C

5

4

4.7

Spezifische Wärme

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Maximale Temperatur in der Luft

1200

1500

1600

Elastizitätsmodul

Gpa

360

410

240


Merkmale des Waferboots für den Halbleiterprozess

Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.



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