Vertikales Waferboot

Das vertikale Waferboot von Semicorex stellt eine entscheidende Komponente in der Halbleiterverarbeitung dar und dient der sicheren Unterbringung und dem Transport empfindlicher Siliziumwafer in verschiedenen Phasen der Herstellung. Hergestellt aus Siliziumkarbid (SiC), einem robusten und thermisch stabilen Material, das für seine außergewöhnlichen Eigenschaften in rauen Umgebungen bekannt ist, gewährleisten diese Boote die Integrität und Sicherheit der Wafer während der Verarbeitung. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Das Semicorex Vertical Wafer Boat ist ein speziell entwickelter Träger für mehrere Wafer, der die Platzeffizienz in den Verarbeitungskammern maximiert. Diese vertikalen Wafer-Boote haben typischerweise eine rechteckige oder zylindrische Form und jedes Boot verfügt über präzisionsgefertigte Schlitze oder Taschen, die so beabstandet sind, dass einzelne Wafer sicher in aufrechter Position gehalten werden. Die vertikalen Wafer-Boote bestehen aus Siliziumkarbid (SiC), das eine hervorragende Beständigkeit gegen hohe Temperaturen, korrosive Chemikalien und mechanische Beanspruchung bietet und sich daher ideal zum Schutz von Wafern vor möglichen Schäden eignet.

Während der Halbleiterfertigung durchlaufen Wafer zahlreiche komplizierte Prozesse, darunter Diffusion, RTP und thermische Felder. Das Vertical Wafer Boat spielt eine entscheidende Rolle bei der Vereinfachung dieser Prozesse, indem es als Träger für Wafer dient und einen nahtlosen Transfer zwischen verschiedenen Geräten und Stufen ermöglicht. Seine vertikale Ausrichtung minimiert den Platzbedarf innerhalb der Verarbeitungskammern, optimiert den Durchsatz und ermöglicht eine effiziente Handhabung großer Wafer-Chargen.

Das vertikale Wafer-Boot von Semicorex ist ein Eckpfeiler der Halbleiterverarbeitung und bietet eine robuste und zuverlässige Lösung für die sichere Handhabung und den Transport von Wafern in verschiedenen Phasen der Herstellung. Sein fortschrittliches Design, gepaart mit den außergewöhnlichen Eigenschaften von SiC, unterstreicht seine zentrale Rolle bei der Herstellung modernster Halbleiterbauelemente.