Vakuum -Chucks

Semikorex -Vakuum -Chucks sind die perfekte Lösung für die Waferhandhabung in Halbleiter- und Präzisionsindustrien. Mit einer Vielzahl von Grundmaterialoptionen, Keramikplattenanpassungen und einer präzisen Flatness -Kontrolle gewährleisten unsere Vakuumschuckien eine zuverlässige Waferstabilität und hervorragende Prozessergebnisse. Diese Chucks entworfen, um die strengen Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung zu erfüllen, bieten eine unvergleichliche Leistung, um sicherzustellen, dass Ihre Prozesse effizient und kostengünstig bleiben.*

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Produktbeschreibung

Semikorex-Vakuum-Chucks sind präzisionsmotorierte Lösungen, die für sichere, stabile und effiziente Handhabung von Wafern bei Semiconductor-Herstellungsprozessen bereitstellen sollen. Diese Vakuum -Chucks werden hauptsächlich zum Halten von Wafern in verschiedenen Verarbeitungsstadien verwendet, um minimale Schäden an den Wafern, die maximale Stabilität und eine verbesserte Prozesseffizienz zu gewährleisten. Unsere Vakuum -Chucks sind in einer Vielzahl von Grundmaterialien und Keramikplatten erhältlich und bieten maßgeschneiderte Lösungen, um den unterschiedlichen Bedürfnissen der Halbleiterindustrie und anderer Präzisionsindustrien gerecht zu werden.

Schlüsselmerkmale und Materialien

Semicorex bietet eine Reihe von Grundmaterialoptionen für das Vakuum -Chuck, sodass die Anpassungen auf der Grundlage bestimmter Anwendungsanforderungen ermöglicht werden:

Grundmaterial:

SUS430: Ein für seine Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit bekanntes Basismaterial aus rostfreiem Stahl, das eine hervorragende mechanische Stabilität bietet.
Aluminiumlegierung 6061: Leicht und doch stark und bietet eine hohe Korrosionsbeständigkeit und ist ideal für Anwendungen, bei denen Gewicht ein Problem darstellt.
Aluminiumoxid -Keramik (99% Aluminiumoxid): bietet hohe thermische Stabilität und Verschleißfestigkeit. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für hochpräzise Umgebungen, in denen der thermische Widerstand von entscheidender Bedeutung ist.
Granit: Bekannt für seine Starrheit und die überlegene Vibrations-Damping-Eigenschaften bietet Granit bei der Handhabung des Wafers hervorragende Stabilität und Präzision.
Siliziumcarbid (sic) Keramik: bietet hohe Härte, Wärmeleitfähigkeit und Resistenz gegen chemische Korrosion. Es ist perfekt für Hochtemperatur- und aggressive Umgebungen.

Keramikplatten:

Aluminiumoxid (Alumina): Aluminiumoxidplatten sind für ihre Eigenschaften mit hoher elektrischer Isolierung, Verschleißfestigkeit und Hochtemperaturstabilität bekannt. Sie eignen sich für Umgebungen, in denen minimale Kontaminationen und hohe Leistung von entscheidender Bedeutung sind.

Siliziumcarbid (SIC): SiC -Keramikplatten bieten außergewöhnliche Härte, hohe thermische Leitfähigkeit und Stabilität bei erhöhten Temperaturen, was sie ideal für fortgeschrittene Waferhandhabungsprozesse in der Halbleiterproduktion ist.

Pauschalpräzision und Materialauswahl

Die Flachheit der Chuck -Oberfläche ist ein kritischer Faktor für die sichere Handhabung des Waferhandels und die optimalen Prozessergebnisse. Die Materialauswahl beeinflusst die Präzision der Flachheit sowie das Gesamtgewicht und die thermischen Eigenschaften des Vakuum -Spanns.

Flatheit Präzision:

Aluminiumlegierung 6061: bietet eine hervorragende Flachheit mit Präzision und macht es zu einer beliebten Wahl für weniger anspruchsvolle Waferhandhabungsaufgaben.

SUS430: Während der SUS430 eine feste mechanische Stabilität bietet, hat er eine etwas niedrigere Flachheitpräzision als eine Aluminiumlegierung.

Aluminiumoxidkeramik (99% Aluminiumoxid): bietet aufgrund seiner hohen dimensionalen Stabilität unter hohen Temperaturen und mechanischen Spannungen die beste Flachness -Präzision.

Granit: Granit ist für seine Stabilität bekannt und bietet eine präzise Flachheit, insbesondere in vibrationsempfindlichen Umgebungen.

Siliziumkarbidkeramik: Bietet hervorragende Präzision von Flachheit und ist ideal für die Umgang mit hoher Voraussicht in Hochtemperaturanwendungen.

Gewichtsüberlegungen

Das Gewicht des Vakuum -Chucks ist ein weiterer wichtiger Faktor, insbesondere für Anwendungen, bei denen die Leichtigkeit des Chucks und Manipulation eine wichtige Überlegung ist.

Aluminiumlegierung 6061: Das leichteste Material, das es ideal für Anwendungen macht, die ein reduziertes Gewicht erfordern, ohne die Festigkeit zu beeinträchtigen.

Granit: Granit schwerer als Aluminium bietet das Gewicht von Granit zusätzliche Stabilität, insbesondere in Prozessen, bei denen die Vibrationsdämpfung von entscheidender Bedeutung ist.

Siliziumkarbidkeramik (SIC): Während schwerer als Aluminium ist die außergewöhnliche Festigkeit und die thermische Stabilität von SIC das Material der Wahl für anspruchsvolle Anwendungen.

Alumina-Keramik (99% Aluminiumoxid): Aluminiumoxid ähnlich wie Granit ist ein Gleichgewicht zwischen Stabilität, Gewicht und hohem Temperaturwiderstand.

Anpassungsoptionen

Unsere Vakuum -Chucks können mit unterschiedlichen Porengrößen in den Keramikplatten auf den spezifischen Anwendungsbedarf zugeschnitten werden. Die Keramikplatten können auch mit unterschiedlichen Farben angepasst werden, sodass verschiedene Chicks, die in verschiedenen Prozessen verwendet werden, eine einfache Identifizierung ermöglichen.

Anwendungen

Semikorex -Vakuum -Chucks sind unverzichtbare Werkzeuge in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen, einschließlich:

Waferhandhabung: Sicherung von Wafern während verschiedener Prozesse wie Radierung, Ablagerung und Test.
Präzisionsherstellung: Ideal für Branchen, die eine stabile, verunreinigungsfreie Wafer halten, die mit minimalen Schäden an empfindlichen Materialien hält.
Hochtemperaturprozesse: Besonders vorteilhaft für Hochtemperaturprozesse, bei denen Materialien wie SiC und Aluminiumoxid für ihre thermische Stabilität von entscheidender Bedeutung sind.

Semikorex -Vakuum -Chucks sind für Präzision, Haltbarkeit und Vielseitigkeit ausgelegt. Wir bieten eine Auswahl hochwertiger Grundmaterialien mit anpassbaren Keramikplatten, sodass wir maßgeschneiderte Lösungen für verschiedene Herstellungsprozesse erstellen können. Unabhängig davon, ob Sie leichte, hochpräzise Wafer oder Materialien benötigen, die extremen Temperaturen standhalten, liefern unsere Vakuum-Chicks die Zuverlässigkeit und Leistung, die Sie benötigen. Durch die Auswahl von Semicorex investieren Sie in ein Hochleistungsprodukt, das von außergewöhnlichem Ingenieur- und Fertigungsexpertise unterstützt wird.

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