Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylindersuszeptor

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von mit Siliziumkarbid (SiC) beschichteten Zylindersuszeptoren und präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit mit Schwerpunkt auf den Bereichen Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP der Halbleiterfertigung. Unsere Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Zylindersuszeptoren haben einen guten Preisvorteil und decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

SemicorexSiliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylindersuszeptorist ein mit hochreinem SiC beschichtetes Graphitprodukt, das eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit aufweist. Es ist für LPE geeignet. DerSiliziumkarbidSiC-beschichteter Zylindersuszeptor, der in Prozessen zur Bildung der Epixieschicht auf Halbleiterwafern verwendet wird und eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften aufweist.

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Parameter vonSiliziumkarbid SiC-beschichtetLaufempfänger

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

MerkmaleSiliziumkarbid SiC-beschichtetLaufempfänger

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht weisen eine gute Dichte auf und können in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eine gute Schutzfunktion spielen.

- Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, weist eine sehr hohe Oberflächenebenheit auf.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delaminierung zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, Korrosionsbeständigkeit.

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