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Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylindersuszeptor
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Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylindersuszeptor

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von mit Siliziumkarbid (SiC) beschichteten Zylindersuszeptoren und präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit mit Schwerpunkt auf den Bereichen Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP der Halbleiterfertigung. Unsere Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Zylindersuszeptoren haben einen guten Preisvorteil und decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

SemicorexSiliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylindersuszeptorist ein mit hochreinem SiC beschichtetes Graphitprodukt, das eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit aufweist. Es ist für LPE geeignet. DerSiliziumkarbidSiC-beschichteter Zylindersuszeptor, der in Prozessen zur Bildung der Epixieschicht auf Halbleiterwafern verwendet wird und eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften aufweist.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über uns zu erfahrenSiliziumkarbidSiC-beschichteter Zylindersuszeptor.


Parameter vonSiliziumkarbid SiC-beschichtetLaufempfänger

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC-β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickershärte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J kg-1 K-1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegekraft

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)

430

Wärmeausdehnung (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale vonSiliziumkarbid SiC-beschichtetLaufempfänger

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht weisen eine gute Dichte auf und können in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eine gute Schutzfunktion spielen.

- Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, weist eine sehr hohe Oberflächenebenheit auf.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delaminierung zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, Korrosionsbeständigkeit.




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