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Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor
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Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor

Semicorex ist ein führender unabhängiger Hersteller von Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptoren, präzisionsgefertigtem hochreinem Graphit, der sich auf die Bereiche Siliziumkarbid-beschichteter Graphit, Siliziumkarbid-Keramik und MOCVP in der Halbleiterfertigung konzentriert. Unsere Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptoren haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex-Siliziumkarbid-SiC-beschichtete Trommel-Suszeptoren sind Graphitprodukte, die mit hochreinem SiC beschichtet sind, das eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit aufweist. Es ist für LPE geeignet. Der Siliziumkarbid-SiC-beschichtete Barrel-Suszeptor wird in Prozessen verwendet, die die Epixialschicht auf Halbleiterwafern bilden, die eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften aufweist.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unseren Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptor zu erfahren.


Parameter des Siliziumcarbid-SiC-beschichteten Trommelsuszeptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptors

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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