Karbidbeschichteter Reaktorrohrsuszeptor

Der Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und speziell für LPE-Prozesse entwickelt wurde. Aufgrund seiner hervorragenden Hitze- und Korrosionsbeständigkeit eignet sich dieses Produkt perfekt für den Einsatz in der Halbleiterfertigung.

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Produktbeschreibung

Wenn Sie nach einem Hochleistungs-Graphit-Suszeptor für die Bildung epitaktischer Schichten auf Halbleiterwafern suchen, ist der Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor eine ausgezeichnete Wahl. Seine Siliziumkarbidbeschichtung sorgt für eine hervorragende Wärmeverteilung und Wärmeleitfähigkeit und gewährleistet so eine außergewöhnliche Leistung selbst in den anspruchsvollsten Hochtemperaturumgebungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger karbidbeschichteter Reaktorzylindersuszeptoren. Wir legen großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter des karbidbeschichteten Reaktorrohrsuszeptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale des karbidbeschichteten Reaktorrohrsuszeptors

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht weisen eine gute Dichte auf und können in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eine gute Schutzfunktion spielen.

- Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, weist eine sehr hohe Oberflächenebenheit auf.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delaminierung zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, Korrosionsbeständigkeit.