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Karbidbeschichteter Reaktorzylinder-Suszeptor

Karbidbeschichteter Reaktorzylinder-Suszeptor

Der Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und speziell für LPE-Prozesse entwickelt wurde. Mit ausgezeichneter Hitze- und Korrosionsbeständigkeit eignet sich dieses Produkt perfekt für den Einsatz in der Halbleiterfertigung.

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Produktbeschreibung

Wenn Sie nach einem Hochleistungs-Graphit-Suszeptor für die Epitaxieschichtbildung auf Halbleiterwafern suchen, ist der Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor eine ausgezeichnete Wahl. Seine Siliziumkarbidbeschichtung bietet eine hervorragende Wärmeverteilung und Wärmeleitfähigkeit und gewährleistet eine außergewöhnliche Leistung selbst in den anspruchsvollsten Hochtemperaturumgebungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung hochwertiger, kostengünstiger, hartmetallbeschichteter Reaktorrohr-Suszeptoren, wir legen Wert auf Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des karbidbeschichteten Reaktorzylinder-Suszeptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptors

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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