EPI 3 1/4" Laufempfänger

Der Semicorex SiC-beschichtete EPI 3 1/4" Barrel Susceptor bietet hervorragende thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Angriffe, während das Graphitsubstrat hervorragende Wärmeübertragungseigenschaften bietet.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex EPI 3 1/4"-Zylindersuszeptor ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und eine außergewöhnliche Hitze- und Korrosionsbeständigkeit bietet. Er wurde speziell für LPE-Anwendungen in der Halbleiterfertigungsindustrie entwickelt.

Unsere EPI 3 1/4" Barrel Susceptors sind für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen konzipiert, darunter Luft- und Raumfahrt, Automobil und Elektronik. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten, und wir sind bestrebt, langfristig zu bauen Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere Beziehungen zu erfahrenSiC-beschichtetGraphittiegel und wie sie Ihrem Unternehmen zugute kommen können.

Parameter des EPI 3 1/4" Barrel Susceptor

Hauptspezifikationen vonCVD-SICBeschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300