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EPI 3 1/4

EPI 3 1/4" Barrel Suszeptor

Semicorex SiC-beschichteter EPI 3 1/4" Barrel Susceptor bietet eine hervorragende thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Angriffe, während das Graphitsubstrat hervorragende Wärmeübertragungseigenschaften bietet.

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Produktbeschreibung

Semicorex EPI 3 1/4" Barrel Susceptor ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und eine außergewöhnliche Hitze- und Korrosionsbeständigkeit bietet. Es wurde speziell für LPE-Anwendungen in der Halbleiterfertigungsindustrie entwickelt.

Unsere EPI 3 1/4" Barrel Susceptors sind für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen konzipiert, darunter Luft- und Raumfahrt, Automobil und Elektronik. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten, und wir sind bestrebt, langfristig zu bauen Kontakt zu unseren Kunden Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere SiC-beschichteten Graphittiegel und die Vorteile für Ihr Unternehmen zu erfahren.


Parameter des EPI 3 1/4" Barrel Susceptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Bend, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des EPI 3 1/4" Barrel Susceptors

Die SiC-Beschichtung bietet eine hervorragende thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Angriffe

Das Graphitsubstrat bietet hervorragende Wärmeübertragungseigenschaften

Hohe Dichte und Härte

Hohe chemische Reinheit

Hohe Wärmekapazität

Hohe Sublimationstemperatur

Hohe Biegefestigkeit

Hoher Elastizitätsmodul

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Hohe Wärmeleitfähigkeit




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