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Trommelsuszeptor mit Siliziumkarbidbeschichtung

Trommelsuszeptor mit Siliziumkarbidbeschichtung

Der mit Siliziumkarbid beschichtete Semicorex Barrel Susceptor ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und eine außergewöhnliche Hitze- und Korrosionsbeständigkeit bietet. Es wurde speziell für LPE-Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt.

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Produktbeschreibung

Unser mit Siliziumkarbid beschichteter Zylinder-Suszeptor von Semicorex ist eine ideale Lösung für die Züchtung von Einkristallen in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung qualitativ hochwertiger, kostengünstiger zylinderförmiger Suszeptoren mit Siliziumkarbidbeschichtung, priorisieren die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und einen außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des mit Siliziumkarbid beschichteten zylindrischen Suszeptors

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des mit Siliziumkarbid beschichteten Fass-Suszeptors

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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