Mit Siliziumkarbid beschichteter Zylindersuszeptor

Der mit Siliziumkarbid beschichtete Zylindersuszeptor von Semicorex ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und eine außergewöhnliche Hitze- und Korrosionsbeständigkeit bietet. Es wurde speziell für LPE-Anwendungen in der Halbleiterfertigungsindustrie entwickelt.

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Produktbeschreibung

UnserMit Siliziumkarbid beschichteter Zylindersuszeptorvon Semicorex ist eine ideale Lösung für die Züchtung von Einkristallen in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns auf die Bereitstellung qualitativ hochwertiger und kostengünstiger ProdukteSiliziumkarbid beschichtetBeim Fasssuszeptor legen wir großen Wert auf die Kundenzufriedenheit und bieten kostengünstige Lösungen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden, der qualitativ hochwertige Produkte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter vonSiliziumkarbidbeschichtetLaufempfänger

Hauptspezifikationen vonCVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

MerkmaleSiliziumkarbidbeschichtetLaufempfänger

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht weisen eine gute Dichte auf und können in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eine gute Schutzfunktion spielen.

- Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, weist eine sehr hohe Oberflächenebenheit auf.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delaminierung zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, Korrosionsbeständigkeit.