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Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor für LPE
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Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor für LPE

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptoren für LPE in China. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele der europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Semicorex Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Barrel-Suszeptor für LPE ist ein hochreiner SiC-beschichteter Graphitträger, der im Prozess zum Aufwachsen der für LPE geeigneten Epitaxieschicht auf dem Wafer-Chip verwendet wird. Es hat eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, die in extremen Umgebungen eine große Stabilität aufweist.

Unser Siliziumkarbid-SiC-beschichteter Zylinder-Suszeptor für LPE ist auch beständig gegen Hochtemperaturoxidation und -korrosion, was ihn zu einem zuverlässigen und langlebigen Produkt macht. Sein hoher Schmelzpunkt stellt sicher, dass es der für eine effiziente Halbleiterfertigung erforderlichen Hochtemperaturumgebung standhalten kann.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unseren Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptor für LPE zu erfahren.


Parameter des Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Trommelsuszeptors für LPE

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des Siliziumkarbid-SiC-beschichteten Barrel-Suszeptors für LPE

- Vermeiden Sie ein Ablösen und stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen beschichtet sind

Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit: Stabil bei hohen Temperaturen bis zu 1600 °C

Hohe Reinheit: Hergestellt durch CVD-CVD unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.

Korrosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche und feine Partikel.

Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.

- Erzielen Sie das beste laminare Gasströmungsmuster

- Gewährleistung der Gleichmäßigkeit des thermischen Profils

- Verhindern Sie jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen




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