SiC-beschichteter Zylindersuszeptor

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von SiC-beschichteten Fasssuszeptoren in China. Wir konzentrieren uns auf Halbleiterindustrien wie Siliziumkarbidschichten und Epitaxiehalbleiter. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

SemicorexSiC-beschichteter Zylindersuszeptorist ein hochreiner SiC-beschichteter Graphitträger, der dabei zum Aufwachsen der Epitaxieschicht auf dem Waferchip verwendet wird und für viele Epitaxiereaktoren geeignet ist. Es verfügt über eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
UnserSiC-beschichtetBarrel Susceptor ist außerdem beständig gegen Oxidation und Korrosion bei hohen Temperaturen, was es zu einem zuverlässigen und langlebigen Produkt macht. Sein hoher Schmelzpunkt stellt sicher, dass es der Hochtemperaturumgebung standhält, die für eine effiziente Halbleiterfertigung erforderlich ist.
Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über uns zu erfahrenSiC-beschichtetLaufempfänger

Parameter vonSiC-beschichtetLaufempfänger

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300