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SiC-beschichtetes Epitaxiereaktorgehäuse

SiC-beschichtetes Epitaxiereaktorgehäuse

Das Semicorex SiC-beschichtete Epitaxie-Reaktorgehäuse ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist. Seine hervorragende Dichte und Wärmeleitfähigkeit machen es zur idealen Wahl für den Einsatz in LPE-Prozessen, da es eine außergewöhnliche Wärmeverteilung und Schutz in korrosiven und Hochtemperaturumgebungen bietet.

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Produktbeschreibung

Wenn es um die Halbleiterfertigung geht, ist der SiC-beschichtete Epitaxiereaktor von Semicorex die erste Wahl für überlegene Leistung und außergewöhnliche Wärmeverteilung. Dieses mit hochreinem SiC beschichtete Graphitprodukt bietet eine hervorragende Korrosions- und Hitzebeständigkeit und gewährleistet jederzeit zuverlässige und konsistente Ergebnisse.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser SiC-beschichtetes Epitaxie-Reaktorgehäuse hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.


Parameter des SiC-beschichteten Epitaxiereaktorzylinders

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale des SiC-beschichteten Epitaxiereaktorgehäuses

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine gute Dichte und können eine gute schützende Rolle in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und korrosiven Einflüssen spielen.

- Mit Siliziumkarbid beschichteter Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, hat eine sehr hohe Oberflächenebenheit.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delamination zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Hochtemperatur-Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit.




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