SiC-beschichteter Epitaxie-Reaktorzylinder

Der Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist. Seine ausgezeichnete Dichte und Wärmeleitfähigkeit machen es zur idealen Wahl für den Einsatz in LPE-Prozessen und bieten eine außergewöhnliche Wärmeverteilung und Schutz in korrosiven und Hochtemperaturumgebungen.

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Produktbeschreibung

Wenn es um die Halbleiterfertigung geht, ist der Semicorex SiC-beschichtete Epitaxie-Reaktorzylinder die erste Wahl für überlegene Leistung und außergewöhnliche Wärmeverteilung. Dieses mit hochreinem SiC beschichtete Graphitprodukt bietet eine hervorragende Korrosions- und Hitzebeständigkeit und gewährleistet jederzeit zuverlässige und konsistente Ergebnisse.

Bei Semicorex konzentrieren wir uns darauf, unseren Kunden qualitativ hochwertige und kostengünstige Produkte anzubieten. Unser SiC-beschichteter Epitaxie-Reaktorzylinder hat einen Preisvorteil und wird in viele europäische und amerikanische Märkte exportiert. Unser Ziel ist es, Ihr langfristiger Partner zu sein, der gleichbleibende Qualitätsprodukte und außergewöhnlichen Kundenservice liefert.

Parameter des SiC-beschichteten Epitaxie-Reaktorzylinders

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale des SiC-beschichteten Epitaxie-Reaktorzylinders

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht weisen eine gute Dichte auf und können in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eine gute Schutzfunktion spielen.

- Der mit Siliziumkarbid beschichtete Suszeptor, der für die Einkristallzüchtung verwendet wird, weist eine sehr hohe Oberflächenebenheit auf.

- Reduzieren Sie den Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Graphitsubstrat und der Siliziumkarbidschicht und verbessern Sie effektiv die Haftfestigkeit, um Risse und Delaminierung zu verhindern.

- Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.

- Hoher Schmelzpunkt, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, Korrosionsbeständigkeit.