Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatte

Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatteist kompetent in der Bereitstellung einer stabilen Unterstützung und präzisen Positionierung von Wafern bei Ätzvorgängen und verhindert effizient eine Verringerung der Ätzgenauigkeit durch Vibrationen oder Verschiebungen.

Die Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatte verfügt über Wärmemanagementfunktionen. Hervorragende Wärmeleitfähigkeit vonSIC-Keramikverleiht der Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatte die Fähigkeit, Wärme schnell abzuleiten, was dazu beiträgt, eine lokale Überhitzung des Werkstücks zu verhindern und die Gleichmäßigkeit der Ätztemperatur sicherzustellen, wodurch die Ätzqualität verbessert wird. SiC-Keramik hat einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, wodurch die Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatte eine gute Dimensionsstabilität beibehält und die durch Wärmeausdehnung verursachte Verschiebung oder Verformung des Werkstücks reduziert.

Aufgrund ihrer hervorragenden Härte- und Festigkeitseigenschaften zeigt die Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatte die Fähigkeit, die während des Ätzprozesses auftretenden mechanischen Belastungen und Plasmaeinwirkungen mit minimaler Verformung oder Beschädigung zu tolerieren. Diese Fähigkeit verbessert effektiv die Ausbeute und Produktionseffizienz von Halbleiterbauelementen.

Die ICP-Betriebsumgebung erfordert Sauberkeit auf Halbleiterebene. Die Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatte von Semicorex kann diese Anforderung vollständig erfüllen und bietet eine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber den chemischen Gasen (wie Chlor und Fluor) und dem Plasma von ICP-Ätzumgebungen. Dieses wichtige Merkmal hält die Prozessumgebung sauber, indem es die Menge an Verunreinigungen reduziert, die während der Ätzvorgänge freigesetzt werden.

Semicorex legt großen Wert auf Benutzerfreundlichkeit und bietet maßgeschneiderte Designs von Siliziumkarbid-ICP-Ätzplatten an, die sich nahtlos in bestehende ICP-Ätzsysteme integrieren lassen und mit verschiedenen Konfigurationen kompatibel sind. Dies ermöglicht einen reibungslosen Übergang und macht es zu einer idealen Upgrade-Lösung für Gerätehersteller.