Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boote

Hochwertige Materialauswahl

Die hervorragenden Eigenschaften der Semicorex-SiliziumkarbidkeramikWaffelbootesind auf hochwertige Rohstoffe zurückzuführen. Hergestellt aus SiSiC-Material in Halbleiterqualität und mit einer CVD-SiC-Beschichtung versehen, weisen Siliziumkarbid-Keramik-Waferboote die folgenden hervorragenden Eigenschaften auf.

1. Ultrahohe Reinheit, frei von Metallverunreinigungen

Substratverunreinigung: <100 ppm

CVD-SiC-Beschichtungsverunreinigung: <1 ppm

2. Hervorragende thermische Stabilität

Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boote sind in der Lage, unter Hochtemperaturbedingungen von 1250 °C eine stabile Leistung zu erbringen und bieten minimale Verformung und Kriechfestigkeit.

3. Hohe mechanische Festigkeit

Siliziumkarbidverfügt über eine hohe Härte und Verschleißfestigkeit, wodurch Semicorex-Siliziumkarbid-Keramik-Waferboote Kratzern, Abrieb und Beschädigungen widerstehen und somit im Langzeitbetrieb eine gute Leistung erbringen und widerstandsfähig gegen Beschädigungen sind.

4. Außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit

Da Siliziumkarbid gegen Korrosion durch starke Säuren und Laugen beständig ist, können Semicorex-Schiffchen aus Siliziumkarbid-Keramikwafern ihre strukturelle Integrität und Funktionsleistung auch unter stark korrosiven Arbeitsbedingungen beibehalten.

Optimiertes strukturelles Design

Semicorex-Siliziumkarbid-Keramik-Waferboote sind für die Batch-Wafer-Verarbeitung konzipiert. Ihr optimierter Strukturrahmen gewährleistet eine stabile Batch-Wafer-Unterstützung und eine konsistente Prozessstabilität für jeden Wafer.

Vertikale Stützstruktur mit 1,3 Pfosten

Die vertikale Struktur der Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boote von Semicorex ermöglicht eine nahtlose Anpassung an vertikale Ofenanwendungen. Mit dieser Struktur können emicorex Siliziumkarbid-Keramik-Waferboote eine homogene Zirkulation von Prozessgasen und eine gleichmäßige Verteilung der Wärmeenergie innerhalb des Hochtemperaturofens ermöglichen.

2. Gleichmäßig verteilte Schlitzklemmen

Semicorex-Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boote sind mit mehreren präzisionsgefertigten Schlitzklemmen an ihren Stützpfosten ausgestattet. Ihre gleichmäßig verteilten Schlitzeinkerbungen sorgen für einen angemessenen Schlitzabstand, der es Siliziumkarbid-Keramik-Waferbooten ermöglicht, Halbleiterwafer fest zu befestigen und so zur Verbesserung der Konsistenz der Ergebnisse der thermischen Waferverarbeitung beizutragen.

Aufgrund ihrer herausragenden Leistungen und Funktionen werden Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikwaferboote häufig in Kernprozessen der Halbleiterwaferherstellung wie Oxidation, Diffusion, Ionenimplantation und Hochtemperaturglühen eingesetzt.