Siliziumkarbid-KeramikPaddel werden typischerweise in der Nähe der Ofenöffnung oder Prozesskammer installiert, wobei ein Ende fest ist und das andere Ende in den Ofen oder die Prozesskammer hineinragt. Während der laufenden Verarbeitung positionieren Paddel aus Siliziumkarbid-Keramik den Waferträger mit den Wafern präzise an der vorgesehenen Stelle im Ofen oder in der Prozesskammer. Nach der Bearbeitung holen die freitragenden Paddel den Träger zurück, bewegen ihn aus dem Ofen oder der Kammer und übergeben ihn für die nächste Handhabungsstufe an den Roboterarm.

Die Vorteile von Semicorex Siliziumkarbid-Keramikpaddeln

1. Überlegene Eigenschaften und zuverlässige Qualität

Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikpaddel bieten hervorragende Hochtemperaturstabilität, hohe Festigkeit, hohe Härte, chemische Stabilität und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Mit diesen überlegenen Eigenschaften können Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikpaddel den anspruchsvollen Betriebsbedingungen wie hohen Temperaturen, starker Korrosion, starker Belastung und häufigem mechanischem Betrieb lange standhalten.

2. Präzises Stützen und Transportieren

Semicorex verlässt sich auf die hervorragende Stütz- und TransportleistungPaddel aus Siliziumkarbid-Keramikkann Waferträger genau an Ort und Stelle fixieren, um die Konzentrizität der Wafer relativ zu den Ofenrohren sicherzustellen, wodurch die Prozessinkonsistenz, die durch Waferschütteln und Fehlausrichtung während des Prozesses verursacht wird, erheblich reduziert wird.

3. Hocheffizienter automatisierter Betrieb

Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikpaddel arbeiten typischerweise in Verbindung mit automatischen Lade- und Handhabungssystemen mit Robotern, um ein schnelles Be- und Entladen der Wafer zu erreichen. Dies verkürzt die Prozesszyklen in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung erheblich, verbessert die Produktionseffizienz und reduziert manuelle Arbeitskosten und Fehlerrisiken.

Die Anwendungen von Semicorex Siliziumkarbid-Keramikpaddeln

1. Herstellung von Photovoltaikzellen

Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikpaddel eignen sich gut für die thermischen Prozesse von Photovoltaikzellen, wie z. B. Diffusion, LPCVD und PECVD von TOPCon- und PERC-Zellen. Durch die Gewährleistung der Gleichmäßigkeit und Stabilität des Prozesses tragen diese Paddel zur Verbesserung der Umwandlungseffizienz von Photovoltaikzellen bei.

2. Herstellung von Halbleiterchips

Als wesentliche Stütz- und Transportkomponenten werden Semicorex-Siliziumkarbid-Keramikpaddel in Prozessen wie Lithographie, Ätzen und Abscheidung bei der Herstellung von Halbleiterchips häufig eingesetzt und ermöglichen einen konstant stabilen Transport und eine präzise Positionierung von Wafern.