Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid-Keramik

SemicorexCantilever-Paddel aus Siliziumkarbid-Keramikwerden durch Hochtemperatursintern des einstufigen 3D-gedruckten Grünkörpers und anschließende Beschichtungsbehandlung mittels chemischer Gasphasenabscheidung hergestellt. Während des tatsächlichen Betriebs werden freitragende Paddel aus Siliziumkarbid-Keramik durch die mechanischen Automatisierungssysteme betätigt, um wafertragende Komponenten reibungslos und gleichmäßig in und aus Hochtemperatur-Verarbeitungsgeräten (z. B. Oxidationsöfen, Diffusionsöfen, CVD-Öfen usw.) zu transportieren. Diese Siliziumkarbid-Komponenten können effektiv die Konzentrizitätsgenauigkeit zwischen den Wafern und den Ofenrohren gewährleisten und so die Prozessgleichmäßigkeit und -stabilität bei kritischen Prozessen wie Diffusion, Oxidation und chemischer Gasphasenabscheidung gewährleisten.

Die Leistung der Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid-Keramik von Semicorex

1. Leistung bei geringer Schadstoffbelastung:

SemicorexSiliziumkarbidAuslegerpaddel aus Keramik, die mit hochpräziser Behandlung verarbeitet werden, erreichen staub- und partikelfreie Standards. Ihre Matrizen weisen einen streng kontrollierten Verunreinigungsgehalt von unter 300 ppm auf, und der Verunreinigungsgehalt der CVD-Siliziumkarbidbeschichtung liegt sogar unter 5 ppm.

2. Hohe Temperaturstabilität:

Aufgrund der hervorragenden Hochtemperaturbeständigkeit und Thermoschockbeständigkeit von Siliziumkarbid können Semicorex-Siliziumkarbid-Keramik-Auslegerpaddel ihre strukturelle Stabilität bei hohen Temperaturen bis zu 1250 °C länger aufrechterhalten, ohne sich durch hohe Temperaturen zu verformen, zu erweichen oder beschädigt zu werden.

3. Außergewöhnliche Tragfähigkeit:

Auslegerpaddel aus Semicorex-Siliziumkarbidkeramik bieten eine außergewöhnliche Belastbarkeit und profitieren von ihrem einzigartigen Strukturdesign und ihren überlegenen Materialeigenschaften (hohe mechanische Festigkeit und Härte). Diese außergewöhnliche Belastbarkeit ermöglicht es ihnen, dem Gewicht großer Wafer-Chargen standzuhalten und so den Anforderungen der Massenproduktion gerecht zu werden, was die Effizienz der Wafer-Chargenverarbeitung effektiv verbessert.

4. Bemerkenswerte Korrosionsbeständigkeit:

Auslegerpaddel aus Siliziumkarbidkeramik von Semicorex weisen eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit gegenüber Sauerstoff, Chlor und anderen korrosiven Substanzen auf, die bei hohen Temperaturen in Halbleiter- und Photovoltaik-Herstellungsprozessen vorhanden sind. Diese überlegene Leistung ist entscheidend für den reibungslosen Ablauf von Produktionsprozessen, indem Verluste und Zeit vermieden werden, die durch Schäden an den Cantilever-Paddeln aus Siliziumkarbidkeramik entstehen.

Die Verpackungsmethode für Cantilever-Paddel aus Semicorex-Siliziumkarbidkeramik